[发明专利]一种复合咪唑啉缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 201710322690.6 | 申请日： | 2017-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107190265A | 公开（公告）日： | 2017-09-22 |
| 发明（设计）人： | 李家俊;刘玉民;吴涛;曹阳;刘学敏;仇进城 | 申请（专利权）人： | 天津正达科技有限责任公司;中海油天津化工研究设计院有限公司;中海油能源发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14;C07D233/06 |
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| 地址： | 300308 天津市*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 复合 咪唑 啉缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种复合咪唑啉缓蚀剂，其特征是由咪唑啉化合物Ⅱ和咪唑啉化合物Ⅲ、乙二醇和水混合而成；咪唑啉化合物Ⅱ的重量百分比为20％-30％，咪唑啉化合物Ⅲ的重量百分比为20％-30％、乙二醇的重量百分比为5％，其余为水；
其中所述咪唑啉化合物Ⅱ是多咪唑啉的季胺盐，其通式为：
所述的咪唑啉化合物Ⅲ是咪唑啉醚化后的衍生物，其通式为：
其中R为十五烷基、十七烷基、十七烯基、环己烯基、苯基中的一种；n为2、3、4或5。
2.根据权利要求1所述的复合咪唑啉缓蚀剂，其特征在于，所述的R为十七烯基。
3.一种权利要求1所述的复合咪唑啉缓蚀剂的制备方法，包括步骤如下：
1)将咪唑啉化合化合物Ⅰ和1,4-双(氯甲基)苯按照1.8-2.2：1的摩尔比加入到装有搅拌、冷凝器、分水器及温度计的高温反应釜内，加入适量催化剂，通N2排除体系内空气，开搅拌并逐渐升温，控制温度在135-140℃反应2-3小时，得到咪唑啉化合物Ⅱ；
催化剂为：氢氧化钾、氢氧化钠、甲醇钠；
2)咪唑啉化合物Ⅰ与环氧丙烷反应生成咪唑啉化合物Ⅲ
在装有搅拌、冷凝器、分水器及温度计的高温反应釜内，加入适量催化剂，通N2排除体系内空气，将咪唑啉化合化合物Ⅰ和环氧丙烷按照1：4-6的摩尔比加入到反应釜内，控制温度在125-130°反应2-4小时，卸压降温后，得到咪唑啉化合物Ⅲ；
催化剂为：氢氧化钾、氢氧化钠、甲醇钠；
3)咪唑啉化合物Ⅱ、咪唑啉化合物Ⅲ、乙二醇和水按照权利要求1所述的比例进行复配，制得复合咪唑啉缓蚀剂。
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