[发明专利]激光清洗用高功率脉冲光纤激光器有效
申请号: | 201710323556.8 | 申请日: | 2017-05-09 |
公开(公告)号: | CN107248694B | 公开(公告)日: | 2019-12-03 |
发明(设计)人: | 张志研;林学春;梁浩;王奕博;刘燕楠;付金祥 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01S3/117 | 分类号: | H01S3/117;H01S3/23;H01S3/067;B08B7/00 |
代理公司: | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 汤保平<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 激光 清洗 功率 脉冲 光纤 激光器 | ||
一种激光清洗用高功率脉冲光纤激光器,包括:多个声光调Q脉冲光纤激光器;多根光纤;一合束器,该合束器的输入端通过多根光纤分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器连接;一输出光纤,其一端连接合束器的输出端;一清洗头,其输入端与输出光纤的另一端连接;多根声光Q连接线,其一端分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器的输入端连接;一声光Q驱动,其输出端与多根声光Q连接线的另一端连接。本发明可使其整体机器小型化,高功率输出,工作效率提高,而且软光路的实现使操作更加灵活。
技术领域
本发明属于工业技术领域,特别是指一种激光清洗用高功率脉冲光纤激光器。
背景技术
激光清洗是一种高效、绿色清洗技术,相对于化学清洗及机械清洗有一定优势,其不需要任何化学试剂、无研磨、无应力、无耗材,对基材损伤极小等优点;激光可利用光纤传输引导,可清洗不易达到的部位,适用范围广泛,除锈、除漆、除泥污、晶片表面处理;清洁度高,该技术以逐步应用于各领域。随着市场需求和应用逐年大幅增加,这势必产生对机器清洗机的大量需求。现在激光清洗机使用的是传统的固体激光器泵浦模式输出,在器件、光路、电控及散热等方面需要极高的要求,导致清洗机整体偏大偏重,输出功率低、工作效率低、移动不方便,灵活性差等缺点。
发明内容
本发明的目的在于提供一种激光清洗用高功率脉冲激光器,能解决上述问题,用多个声光调Q脉冲光纤激光器通过光纤合束器,把功率耦合进入一根光纤传输,声光调Q脉冲光纤激光器可以通过外置Q驱动同步器可控制多个声光Q调制器同步运行使脉冲信号达到一致,这样就保证高功率脉冲激光清洗机在使用时功率叠加释放的一致稳定性,使其使用功率叠加达到千瓦量级,再通过光纤传输到机器清洗头使其清洗功率大幅度提高,从而实现更高效的清洗工作,而且这种方法可以解决传统的硬光路工作方式,使其在器件、光路、电控、散热等问题得到良好的解决,使其整体机器小型化,高功率输出,工作效率提高,而且软光路的实现使操作更加灵活。
本发明提供一种激光清洗用高功率脉冲光纤激光器,包括:
多个声光调Q脉冲光纤激光器;
多根光纤;
一合束器,该合束器的输入端通过多根光纤分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器连接;
一输出光纤,其一端连接合束器的输出端;
一清洗头,其输入端与输出光纤的另一端连接;
多根声光Q连接线,其一端分别与多个声光调Q脉冲光纤激光器的输入端连接;
一声光Q驱动,其输出端与多根声光Q连接线的另一端连接。
本发明的有益效果是,具有体积小、重量轻的优点,同时还具有输出功率大、工作效率高、移动方便和操作方便的优点。
附图说明
为进一步说明本发明的具体内容,以下结合实施例及附图对本发明进一步详述如后,其中:
图1本发明的结构示意图;
图2是图1中声光调Q脉冲光纤激光器1和声光Q驱动7的工作原理结构示意图;
图3是没有或使用同步器脉冲信号效果图。
具体实施方式
请参阅图1、图2及图3所示,本发明提供一种激光清洗用高功率脉冲光纤激光器,包括:
多个声光调Q脉冲光纤激光器1,该多个声光调Q脉冲光纤激光器1 的输出功率为300W,该声光调Q脉冲光纤激光器1的数量为3-15个;
多根光纤2,该多根光纤2的芯径为200μm,该光纤2的数量为3-15 根;
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