[发明专利]多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法

权利要求书

1.一种多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：利用PZT实现相移，得到λ₁，λ₂，λ₃三种波长干涉图样；

步骤2：根据干涉图样得到各个波长粗对齐的初相位计算近波长相位差远波长相位差其中x,y表示干涉图样中像素点的横纵坐标值；

步骤3：根据单波长相位差近波长相位差远波长相位差制定零级干涉条纹的相位判断条件，找出满足条件的所有点；

所述零级干涉条纹是指在如下的被测形貌高度h(x,y)表达式中：

将高度h(x,y)分h₁(x,y)和h₀(x,y)两部分，分别对应波长的m_i级数倍和零级干涉条纹的高度，经过粗对齐后能够保证m_i的准确性；

对于零级干涉，其级次m_i＝0，相应的作为λ_i的零干涉条纹分量，具有如下关系：

所述零级干涉条纹的相位判断条件是：单波长相位差很小的点，两个近波长相位差很小的点，两个远波长相位差也很小的点，且三个条件同时满足；对于确定的波长λ₁，λ₂，λ₃，相位差很小的限制条件取明确的算术值；

步骤4：根据满足零级干涉条纹所有点的相位，将λ₂，λ₃对应的初相位相对λ₁的初相位进行对齐，使得三种波长的相移起点位置一致；

步骤5：根据对齐后的相位值进行表面形貌高度计算。

2.根据权利要求1所述的多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，其特征在于：步骤1中所述利用PZT实现相移，实现相移的驱动方式包括“弓”字型路径。

3.根据权利要求1所述的多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，其特征在于：步骤2中，粗对齐后的初相位相比不能超过半波长的相位π。

4.根据权利要求1所述的多波长干涉测量中提高PZT相移调制起点对齐精度的方法，其特征在于：如果λ₁<λ₂<λ₃，且λ₂-λ₁<λ₃-λ₂，则λ₃与λ₁的组合波长称为远波长，λ₂与λ₁的组合波长称为近波长。