[发明专利]一种加强型结构的MEMS图像传感器像元在审
| 申请号： | 201710327901.5 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106989829A | 公开（公告）日： | 2017-07-28 |
| 发明（设计）人： | 赵照 | 申请（专利权）人： | 合肥芯福传感器技术有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10;G01J5/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230031 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 加强型 结构 mems 图像传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，包括微桥、桥墩和衬底，所述微桥包括桥面和桥臂，所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上，并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路，其特征在于：所述桥臂的横截面为T型加强结构。
2.根据权利要求1所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述桥臂由金属或金属合金和外保护层组成。
3.根据权利要求2所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述金属合金为钛合金，所述外保护层为氮化硅。
4.根据权利要求1所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述桥墩为多边形的空心柱体形状，所述桥臂是向桥面方向弯曲的形状。
5.根据权利要求4所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述多边形为五边形，所述桥臂为抛物线形。
6.根据权利要求4所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述多边形为六边形，所述桥臂为抛物线形。
7.根据权利要求4所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述多边形为七边形，所述桥臂为抛物线形。
8.根据权利要求1至7中任意一项所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元，其特征在于：所述图像传感器为红外热成像传感器。
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