[发明专利]一种显影液组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种改善无机碱的显影液效果的方法，其特征在于：在常规的无机碱显影液中加入Gemini型表面活性剂和两性活性剂。

2.如权利要求1所述的改善无机碱的显影液效果的方法，其特征在于：所述的Gemini型表面活性剂的结构如下：

式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基或卤素；R₆为2-6个亚甲基；n为6-23的整数。其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅中至少两个为芳基和/或芳烷基。所述的Gemini型表面活性剂占整个显影液组合物的重量百分比含量为0.01％-0.2％或3.01％-4％。

3.如权利要求1所述的改善无机碱的显影液效果的方法，其特征在于：所述的两性活性剂，包括羧酸盐型表面活性剂、磷酸酯型表面活性剂。所述的两性活性剂占整个显影液组合物的重量百分比含量为0.01％-0.2％或2.0％-5.0％。

4.一种含有无机碱的显影液，质量百分比如下：无机碱3.01％-8％，Gemini表面活性剂0.01％-0.2％或3.01％-4％，两性表面活性剂0.01％-0.2％或2.0％-5.0％，有机溶剂0.1％-0.9％，其余成分为去离子水。

5.如权利要求4所述的含有无机碱的显影液，其特征在于：所述的无机碱选自氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢钠、磷酸二氢钠、磷酸二氢钾、磷酸锂、硅酸锂、硅酸钾、硅酸钠、碳酸锂、碳酸钾、碳酸钠、碳酸氢锂、碳酸氢钾、碳酸氢钠、硼酸锂、硼酸钠中的一种或几种。

6.如权利要求4所述的含有无机碱的显影液，其特征在于：所述的Gemini表面活性剂的结构如下：

式中，R₁、R₂、R₃、R₄、R₅分别独立地选自氢、烷基、芳基、芳烷基或卤素；R₆为2-6个亚甲基；n为6-23的整数。其中R₁、R₂、R₃、R₄、R₅中至少2个为芳基或芳烷基。

7.如权利要求4所述的含有无机碱的显影液，其特征在于：所述的两性表面活性剂包括羧酸盐型表面活性剂、磷酸酯型表面活性剂。

8.如权利要求4所述的含有无机碱的显影液，其特征在于：所述的有机溶剂包括醇类：甲醇、乙醇、丙醇、乙二醇、丙二醇、异丙醇；醇醚类化合物：丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇丁醚；酰胺类化合物：N，N-二甲基甲酰胺、N，N-二甲基乙酰胺；丙酮、N-甲基吡咯烷酮、N-乙基吡咯烷酮、二甲基亚砜等任意一种或两种。

9.如权利要求4所述的含有无机碱的显影液，其制备方法如下：常温下，将两性表面活性剂中的一种或几种加入去离子水后，搅拌溶解后，添加有机溶剂中的一种或两种混合物，接着继续搅拌2-3min，添加一种Gemini表面活性剂，然后充分搅拌，接着缓慢加入无机碱中的一种或多种的混合物，充分搅拌。