[发明专利]一种旋转式多位阻蒸设备在审
申请号: | 201710331221.0 | 申请日: | 2017-05-11 |
公开(公告)号: | CN106995915A | 公开(公告)日: | 2017-08-01 |
发明(设计)人: | 向勇;曹德;孙力 | 申请(专利权)人: | 成都西沃克真空科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 成都新驱科为知识产权代理事务所(普通合伙)51251 | 代理人: | 成实 |
地址: | 610091 四川省成都*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 旋转 式多位阻蒸 设备 | ||
1.一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:主要由安装台(1),分别设置在安装台(1)上的从电极锁紧装置和旋转式电极杆(2),与旋转式电极杆(2)电连接的电极锁紧装置,与旋转式电极杆(2)相连接的驱动电机(3),以及设置在旋转式电极杆(2)上并与从电极锁紧装置电连接的多位阻蒸盘组成;所述多位阻蒸盘上设置了多个蒸发舟(6),所述旋转式电极杆(2)通过同步带(4)连接在驱动电机(3)上。
2.根据权利要求1所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述多位阻蒸盘包括电极盘(5),与蒸发舟(6)一一对应设置并与蒸发舟(6)电连接的从电极耳(7),设置在从电极耳(3)上并与电极盘(5)相连接的弹性组件;所述从电极耳(7)与从电极锁紧装置电连接。
3.根据权利要求2所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述弹性组件包括与从电极耳(7)相连接的绝缘垫(8),设置在绝缘垫(8)上的安装板(9),以及一端与安装板(9)相连接、另一端通过加强筋(10)连接在电极盘(5)上的弹性件(11)。
4.根据权利要求3所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述旋转式电极杆(2)通过拉紧连接座(14)连接在安装台(1)上,所述旋转式电极杆(2)上分别设置有支持筒(15)和水冷管(26)以及旋转装置,所述旋转装置还分别与支持筒(15)和拉紧连接座(14)相连接,所述旋转式电极杆(2)上还设置有的环形电极盘(16),所述环形电极盘(16)通过电极抱箍(17)连接在旋转式电极杆(2)上并与电极锁紧装置。
5.根据权利要求4所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述旋转装置包括一端与支持筒(15)相连接、另一端与拉紧连接座(14)相连接的旋转真空密封外套(18),一端通过上轴承(19)安装在旋转真空密封外套(18)上、另一端通过下轴承(20)安装在支持筒(15)上的旋转内轴(21),以及通过同步带固定键条(23)连接在旋转内轴(21)上且位于下轴承(20)下方的同步带轮(22):所述旋转式电极杆(2)贯穿旋转内轴(21),且该旋转式电极杆(2)一端通过静密封(24)与旋转内轴(21)相连接、另一端通过内轴固定键条(25)与旋转内轴(21)相连接,所述同步带轮(22)通过同步带(4)与驱动电机(3)相连接。
6.根据权利要求5述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述电极锁紧装置包括与环形电极盘(16)电连接的电极夹紧板(27),设置在电极夹紧板(27)下方且用于夹紧环形电极盘(16)的压头(28),以及设置在压头(28)上的第一气缸(29);所述压头(28)连接在第一气缸(29)的第一伸缩杆(30)上;所述电极夹紧板(27)上设有安装基板(31),所述第一气缸(29)安装在安装基板(31)上;所述安装基板(31)上设有保持座(32),所述电极夹紧板(27)通过绝缘板(33)连接在保持座(32)上并位于保持座(32)的下方,所述第一伸缩杆(30)贯穿安装基板(31)与保持座(32);所述旋转式电极杆(2)贯穿安装基板(31)并通过支持筒(15)连接在安装基板(31)上。
7.根据权利要求6所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述从电极锁紧装置包括与从电极耳(7)电连接的从电极座(34),设置在从电极座(34)上方且用于夹紧从电极耳(7)的夹头(35),以及设置在夹头(35)上的第二气缸(36);所述夹头(35)连接在第二气缸(36)的第二伸缩杆(37)上,所述从电极座(34)上设置有导电座(38),所述导电座(38)通过下绝缘块(39)连接在安装台(1)上并位于安装台(1)的下方,所述安装台(1)上设置有与下绝缘块(39)相匹配的上绝缘块(40),所述导电座(38)上还设置有安装筒(41),所述第二伸缩杆(37)贯穿安装筒(41)与导电座(38),所述第二伸缩杆(37)通过伸缩杆固定座(42)连接在导电座(38)上。
8.根据权利要求7所述的一种旋转式多位阻蒸设备,其特征在于:所述蒸发舟(6)的一端通过电极压块(13)连接在电极盘(5)上、其另一端通过从电极压块(12)连接在从电极耳(7)上。
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