[发明专利]光模块在审
| 申请号： | 201710331245.6 | 申请日： | 2017-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN106950659A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 陈思涛 | 申请（专利权）人： | 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/42 | 分类号： | G02B6/42;G02B6/34 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司11205 | 代理人： | 刘丹,黄健 |
| 地址： | 266555 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 模块 | ||
【权利要求书】：
1.一种光模块，其特征在于，包括：依次相连的第一波导、阵列波导和第二波导，其中，所述第二波导用于与激光器或探测器相连；所述第一波导上设有耦合光栅，用于与光纤耦合。
2.根据权利要求1所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅设置在所述第一波导的顶面。
3.根据权利要求2所述的光模块，其特征在于，所述第一波导中硅基底的顶面通过刻蚀形成有多个凹槽，所述凹槽内填充有二氧化硅，所述硅基底与所述凹槽内填充的二氧化硅形成所述耦合光栅。
4.根据权利要求3所述的光模块，其特征在于，从光纤至阵列波导的方向，所述耦合光栅呈发散状。
5.根据权利要求4所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅的张角为30°-60°。
6.根据权利要求3所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅的周期数为20-30。
7.根据权利要求6所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅的周期为400nm-700nm。
8.根据权利要求7所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅的占空比为0.5。
9.根据权利要求3所述的光模块，其特征在于，所述耦合光栅中，与阵列波导距离最远的凹槽与所述耦合光栅的焦点之间的距离为10μm-30μm。
10.根据权利要求3所述的光模块，其特征在于，所述第一波导中硅基底的厚度为220nm，所述凹槽的深度为70nm。
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