[发明专利]脆性材料基板的断开方法及断开装置

权利要求书

1.一种脆性材料基板的断开方法，其特征在于，包括：

通过像差激光束发光部件，使包括脉冲激光束的突发脉冲的激光束透过用于产生像差的像差生成透镜而生成为像差激光束；

使包括所述像差激光束发光部件的第一划线头沿水平梁所具有的引导件移动，沿脆性材料基板的预定断开线扫描所述像差激光束而形成改性层，所述水平梁设置在载置所述脆性材料基板的工作台左右侧的支柱上；以及

使包括断开用激光束发光部件和冷却剂喷射部件的第二划线头沿所述引导件移动，通过所述断开用激光束发光部件沿所述改性层照射断开用激光束，并通过所述冷却剂喷射部件对所述断开用激光束的照射点的前进方向前方侧进行冷却，从而沿所述预定断开线将所述脆性材料基板断开，

其中，所述像差激光束的光源为波长0.7μm～2.5μm的近红外激光器、且采用脉冲宽度为100皮秒以下的激光束的突发脉冲，

其中，所述断开用激光束为CO₂激光束。

2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的断开方法，其特征在于，

通过吹喷冷却介质来对包括所述断开用激光束的照射点的前进方向前方侧的照射点周边进行冷却。

3.根据权利要求1或2所述的脆性材料基板的断开方法，其特征在于，

所述断开用激光束为波长10.6μm的CO₂激光束。

4.一种脆性材料基板的断开装置，其特征在于，包括：

工作台，用于载置脆性材料基板；

像差激光束发光部件，使从光源射出的包括脉冲激光束的突发脉冲的激光束通过用于产生像差的像差生成透镜而生成为像差激光束；

像差激光束发光部件移动机构，使所述像差激光束发光部件沿所述脆性材料基板的预定断开线相对地移动；

断开用激光束发光部件，沿被照射了所述像差激光束的所述预定断开线照射断开用激光束；

冷却剂喷射部件，对所述断开用激光束的照射点的激光束前进方向前方侧进行冷却；以及

断开用激光束发光部件移动机构，使所述断开用激光束发光部件以及所述冷却剂喷射部件沿被照射了所述像差激光束的所述预定断开线相对地移动，

其中，在所述工作台的左右侧的支柱上设置有具有引导件的水平梁，

包括所述像差激光束发光部件的第一划线头和包括所述断开用激光束发光部件和所述冷却剂喷射部件的第二划线头以能够沿所述引导件移动的方式安装于所述引导件上，

所述像差激光束的光源为波长0.7μm～2.5μm的近红外激光器、且采用脉冲宽度为100皮秒以下的激光束的突发脉冲，

所述断开用激光束为CO₂激光束。

5.根据权利要求4所述的脆性材料基板的断开装置，其特征在于，

所述冷却剂喷射部件对包括所述断开用激光束的照射点的激光束前进方向前方侧的照射点周边进行冷却。