[发明专利]一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物在审
| 申请号： | 201710334655.6 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107216933A | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 黄福川;胡雄风;李康春;邓富康;赵金城 | 申请（专利权）人： | 广西大学 |
| 主分类号： | C10M169/04 | 分类号： | C10M169/04;C10N30/10;C10N30/12;C10N30/18;C10N40/02;C10N30/06 |
| 代理公司： | 广西南宁公平知识产权代理有限公司45104 | 代理人： | 黄春莲 |
| 地址： | 530004 广西壮族*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 刻蚀 真空 系统 轴承 工作液 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物，其特征在于：采用质量比50％的氟氯碳油和50％的聚三氟氯乙烯油复合作为全合成复合基础油，配合抗氧防腐剂和抗氧防锈剂，其各自质量百分数的成分组成为：
以上各组分的质量百分比含量为100％。
2.如权利要求1所述的一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物，其特征在于抗氧防腐剂是磷代三嗪。
3.如权利要求1所述的一种等离子刻蚀真空系统泵轴承工作液组合物，其特征在于抗氧防锈剂是全氟烷基二磷朵-对称-三嗪。
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