[发明专利]一种基板残材检测方法、装置及系统

权利要求书

1.一种基板残材检测方法，其特征在于，包括：

当切割后的基板经过传送通路后，采集所述传送通路的实时图像；

将采集到的传送通路的实时图像与第一基准图像进行匹配对比，根据对比结果判断所述传送通路上是否存在基板残材；其中，所述第一基准图像为无基板残材的传送通路的图像；

所述将采集到的传送通路的实时图像与第一基准图像进行匹配对比，根据对比结果判断传送通路上是否存在基板残材；包括以下步骤：

将第一基准图像灰度化处理，生成第一基准图像的像素灰度值矩阵：

其中，x和y分别为第一基准图像中像素的行数和列数；G¹(x,y)为第一基准图像中第x行、第y列的像素的灰度值；

将采集到的传送通路的实时图像定义为第一实时图像，将所述第一实时图像灰度化处理，生成第一实时图像的像素灰度值矩阵：

其中，x和y分别为第一实时图像中像素的行数和列数；H¹(x,y)为第一实时图像中位于第x行、第y列的像素的灰度值；

从第一基准图像的灰度值矩阵中截取一个M*N子矩阵G_MN，定义该子矩阵为第一基准子矩阵；

从第一实时图像的灰度值矩阵中获取与所述第一基准子矩阵相匹配的M*N子矩阵，定义该子矩阵为第一实时子矩阵；

对所述第一实时子矩阵与所述第一基准子矩阵进行误差分析，根据所述误差分析结果判断所述传送通路上是否存在基板残材。

2.根据权利要求1所述的基板残材检测方法，其特征在于，所述从第一实时图像的灰度值矩阵中获取与第一基准子矩阵相匹配的M*N子矩阵；具体包括：

设定从第一实时图像的灰度值矩阵中、以第m行第n列开始截取的M*N子矩阵为与第一基准子矩阵G_MN相匹配的M*N子矩阵，其中，1≤m+M≤x，1≤n+N≤y；

定义第一匹配函数：

其中，为矩阵中第i行第j列的元素，G_MN(i,j)为矩阵G_MN中第i行第j列的元素；

定义第一相关函数：

计算当第一相关函数R_(m,n)最接近1时m和n的数值，根据该m和n的数值获得与所述第一基准子矩阵相匹配的M*N子矩阵

3.根据权利要求1所述的基板残材检测方法，其特征在于，将第一实时子矩阵与第一基准子矩阵进行误差分析，根据所述误差分析结果判断所述传送通路上是否存在基板残材；具体包括：

定义第一单像素点绝对误差：

其中，

定义第一目标函数，

设定第一目标函数阈值K¹，将第一目标函数与第一目标函数阈值K¹进行比较；

当所述第一目标函数大于第一目标函数阈值K¹时，判断所述传送通路上存在基板残材；

当所述第一目标函数不大于第一目标函数阈值K¹时，判断所述传送通路上不存在基板残材。

4.根据权利要求1～3任一项所述的基板残材检测方法，其特征在于，还包括：

采集切割后的基板经过传送通路过程的实时图像；

将采集到的基板经过传送通路过程的实时图像与第二基准图像进行匹配对比，根据对比结果判断基板上是否存在残材；其中，所述第二基准图像为切割后无残材的基板经过传送通路过程的图像。