[发明专利]具有流量分配器的递送容器

权利要求书

1.将化学前体递送至加工设备的容器，所述容器包括：

侧壁；

基底；

具有平坦表面的盖；

进口管；

流量分配器，所述流量分配器具有选自以下的结构：连接的中空条、中空淋喷头及其组合，所述流量分配器包含作为喷口的多个小开口；和

穿过所述盖的出口；

其中

所述进口管穿过所述盖且延伸进入所述流量分配器中，且与所述流量分配器流体连通，

所述喷口开口以与所述盖成60-90度的角度面对基底，和

各喷口开口的当量直径范围为0.01英寸(0.025cm)-0.25英寸(0.64cm)。

2.根据权利要求1所述的容器，其中所述容器具有选自以下的形状：圆筒形、矩形立方体、正立方体、矩形盒、矩形六面体、正矩形棱柱体、矩形平行六面体及其组合；和/或所述流量分配器具有选自以下的横截面形状：管形、圆形、正方形、长方形及其组合。

3.根据权利要求1所述的容器，其中所述流量分配器具有选自以下的结构：与所述盖平行地延伸的连接的中空条。

4.根据权利要求1所述的容器，其中所述流量分配器具有由连接的中空条组成的结构，且其中所述中空条的内当量直径范围为1/8英寸(0.32cm)-1英寸(2.5cm)。

5.根据权利要求4所述的容器，其中所述中空条上的各喷口的当量直径范围为0.01英寸(0.025cm)-0.05英寸(0.125cm)。

6.根据权利要求4或5所述的容器，其中所述流量分配器具有2-16个在共同中心处相交的中空条。

7.根据权利要求6所述的容器，其中所述中空条从所述共同中心与所述盖平行地延伸、且在侧面密封。

8.根据权利要求1-5任一项所述的容器，其中所述流量分配器具有高度为1/8英寸(0.32cm)-1英寸(2.5cm)的中空淋喷头结构。

9.根据权利要求8所述的容器，其中与所述盖平行的流量分配器的横截面积范围为与所述盖平行的容器横截面积的30％-90％。

10.根据权利要求8所述的容器，其中所述中空淋喷头上的各喷口的当量直径范围为0.01英寸(0.025cm)-0.05英寸(0.125cm)。

11.根据权利要求1-5任一项所述的容器，其中所述流量分配器具有中空条和中空淋喷头，其中所述中空淋喷头的高度为1/8英寸(0.32cm)-1英寸(2.5cm)且位于所述流量分配器的中心，其中所述中空条从所述中空淋喷头延伸，所述中空淋喷头与所述中空条流体连通。

12.根据权利要求11所述的容器，其中所述中空条从所述中空淋喷头与所述盖平行地延伸。

13.将化学前体递送至加工设备的系统，所述系统包括：

化学前体，其选自：金属卤化物、金属β-二酮化物、金属β-二酮酯化物、金属β-酮亚胺化物、金属β-二亚胺化物、金属烷基化物、金属羰基化物、烷基金属羰基化物、金属环戊二烯基化物、金属环戊二烯基羰基化物、金属吡咯基化物、金属咪唑基化物、金属脒基化物、金属烷氧基化物及其组合；

其中

所述金属选自：Mg、Ca、Sr、Ba、Y、La、Ce、Sm、Tb、Er、Yb、Lu、Ti、Zr、Hf、Fe、Co、Ni、Ru、Ir、Rh、Cu、Al、Sn、Pb、Sb、Bi、Te、Cr、Mo、W和Ta；

容纳所述化学前体的如权利要求1-7任一项所述的容器；其中各喷口开口的末端位于距所述喷口开口所面对的化学前体大于或等于0.5英寸(1.27cm)的距离处。