[发明专利]微机电系统装置及用于其的背板

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS装置，所述MEMS装置包括：

隔膜；以及

背板，所述背板与所述隔膜间隔开一定距离，在所述背板与所述隔膜之间形成有气隙，所述背板包括：

第一表面，所述第一表面面向所述隔膜；以及

相反的第二表面，所述相反的第二表面背对所述隔膜；

其中，所述背板的所述第一表面和所述相反的第二表面协同限定多个通孔，所述多个通孔延伸穿过所述背板以允许来自所述气隙的空气流过所述多个通孔；

其中，所述多个通孔中的每一个通孔包括沿着所述第一表面设置的第一孔、沿着所述相反的第二表面设置的第二孔、以及在所述第一表面与所述相反的第二表面之间延伸的侧壁；

其中，所述第一孔具有第一直径并且所述第二孔具有第二直径，所述第二直径大于所述第一直径；并且

其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有非线性轮廓。

2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有凹口轮廓。

3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有阶梯式轮廓。

4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有线性倾斜轮廓。

5.根据权利要求1所述的MEMS装置，所述MEMS装置还包括第二背板，所述第二背板相对于所述背板被定位在所述隔膜的相反侧上，所述第二背板与所述隔膜间隔开第二距离，在所述第二背板与所述隔膜之间形成有第二气隙。

6.根据权利要求5所述的MEMS装置，其中，所述第二背板包括：

第三表面，所述第三表面面对所述隔膜的所述相反侧；以及

相反的第四表面，所述相反的第四表面背对所述隔膜的所述相反侧；

其中，所述第二背板的所述第三表面和所述相反的第四表面协同限定延伸穿过所述第二背板的第二多个通孔；

其中，所述第二多个通孔中的每一个通孔包括沿着所述第三表面设置的第三孔、沿着所述相反的第四表面设置的第四孔、以及在所述第三表面与所述相反的第四表面之间延伸的第二侧壁。

7.根据权利要求6所述的MEMS装置，其中，由所述第一表面和所述相反的第二表面限定的所述多个通孔中的每一个通孔的所述侧壁具有第一轮廓，并且所述第二多个通孔中的每一个通孔的所述第二侧壁具有第二轮廓。

8.根据权利要求7所述的MEMS装置，其中，所述第一轮廓与所述第二轮廓相同。

9.根据权利要求7所述的MEMS装置，其中，所述第一轮廓与所述第二轮廓不同。

10.根据权利要求1所述的MEMS装置，其中，所述MEMS装置包括MEMS麦克风。

11.一种用于微机电系统MEMS装置的背板，所述背板包括：

第一表面，所述第一表面被构造成面向隔膜，所述第一表面具有第一多个孔，所述第一多个孔限定所述第一表面的第一开孔率；以及

相反的第二表面，所述相反的第二表面被构造成背对所述隔膜，所述相反的第二表面具有第二多个孔，所述第二多个孔限定所述相反的第二表面的第二开孔率；

其中，所述第一表面的所述第一开孔率小于所述相反的第二表面的所述第二开孔率；

其中，所述第一多个孔和所述第二多个孔被定位成对齐，从而协同形成延伸穿过所述背板的多个通孔；

其中，所述多个通孔中的每一个通孔包括侧壁，所述侧壁在所述第一表面和所述相反的第二表面之间延伸；以及

其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有非线性轮廓。

12.根据权利要求11所述的背板，其中，所述多个通孔中的至少一个通孔的所述侧壁具有凹口轮廓。