[发明专利]声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器

说明书

本发明提供一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器，所述声波谐振器包括：压电层的第一压电部，设置在腔体上并且具有第一平均厚度；及压电层的第二压电部，被设置为与第一压电部的边缘相邻并且具有与第一平均厚度不同的第二平均厚度。

本申请要求于2016年9月21日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0120664号韩国专利申请的优先权和权益，该韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用包含于此。

技术领域

下面的描述涉及一种声波谐振器和包括该声波谐振器的滤波器。

背景技术

声波谐振器为使能量以特定频率谐振的设备。例如，这样的声波谐振器用在滤波器、振荡器和频率计数器中。声波谐振器的示例为在厚度方向上使用声波的设备。这样的声波谐振器被广泛地应用于从高频带中对频率进行滤波。

上面描述的声波谐振器主要在厚度方向上产生声波，而且在与厚度方向垂直的水平方向上也不可避免地产生谐振。然而，在水平方向上产生的谐振会引起声波谐振器的噪声。因此，期望开发能够使在水平方向上产生的谐振最小化或者防止在水平方向上产生谐振的声波谐振器。

发明内容

提供本发明内容在于以简化形式介绍以下在具体实施方式中进一步描述的选择的发明构思。本发明内容不意图限定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，本发明内容也不意图用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总的方面，一种声波谐振器包括：压电层的第一压电部，设置在腔体上并且具有第一平均厚度；以及压电层的第二压电部，被设置为与第一压电部的边缘相邻并且具有与第一平均厚度不同的第二平均厚度。

所述第一平均厚度可大于所述第二平均厚度。

所述第一压电部的最小厚度可大于所述第二压电部的最小厚度。

所述第一压电部的最小厚度可小于所述第二压电部的最小厚度。

所述第一压电部的最大厚度可小于所述第二压电部的最大厚度。

所述第二压电部的最大厚度偏差可小于所述第二压电部的宽度。

所述声波谐振器还可包括分别形成在第一压电部和第二压电部的上方和下方的第二电极层和第一电极层。

所述声波谐振器还可包括设置在第二压电部的边缘处的第三压电部。

所述第三压电部的宽度可等于或小于所述第二压电部的宽度。

所述第三压电部可具有第三平均厚度，所述第三平均厚度大于第一平均厚度和第二平均厚度。

所述第一压电部可具有第一表面粗糙度，且所述第二压电部可具有与第一表面粗糙度不同的第二表面粗糙度。

一种滤波器可包括所述声波谐振器。

在另一总的方面，一种声波谐振器包括：压电层的第一压电部，具有第一最大厚度偏差；以及压电层的第二压电部，设置在第一压电部的边缘处，并具有与第一最大厚度偏差不同的第二最大厚度偏差。

所述第二最大厚度偏差可大于所述第一最大厚度偏差。

所述第一压电部的平均厚度可不同于所述第二压电部的平均厚度。

所述第一压电部的最大厚度可小于或等于所述第二压电部的最大厚度。

所述声波谐振器还可包括：第一电极层，设置在第一压电部的第一表面上；以及第二电极层，设置在第一压电部的第二表面上。

所述声波谐振器还可包括腔体，所述腔体设置在第一压电部和基板之间。

所述第一最大厚度偏差可由于第一压电部的表面的粗糙度而形成，且所述第二最大厚度偏差可由于第二压电部的表面的粗糙度而形成。