[发明专利]新型的薄片队列微电极

说明书

本发明揭示了一种新型的薄片队列微电极，包括电极本体和薄片电极；电极本体为条形；薄片电极设有多个，多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧边；薄片电极为条形薄片，其一端固定连接电极本体，相对的另一端为自由端；自由端的端面为加工端面；薄片电极中部设有贯穿薄片电极的随形孔。本发明新型的薄片队列微电极不但设有随形孔，可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小薄片队列微电极损耗的递减效应；而且还设有阻反应凹槽，可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题，提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。

技术领域

本发明涉及到电火花加工电极领域，特别是涉及到一种新型的薄片队列微电极。

背景技术

现今通过薄片队列微电极微电火花加工可获得三维微结构。但是在实施的过程中存在以下问题：①在微细电火花加工的过程中，第一个薄片微电极的加工介质更新和电蚀产物的排出最差，因此第一个薄片微电极的损耗最大，随后的薄片微电极的损耗则会逐渐减小。薄片微电极损耗递减的现象会对微电电火花加工结果的形状精度和尺寸精度产生不利影响；②薄片队列微电极微细电火花加工微型腔时，微型腔的直壁特征会又有一定的锥度，该锥度会对微型腔的直壁特征产生不利影响。

综上所述，为了提高薄片队列微电极微细电火花加工的精度，需要减小薄片队列微电极损耗的递减效应和薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种可以减小微细电火花加工的过程中薄片队列微电极损耗的递减效应的新型的薄片队列微电极。

本发明提出一种新型的薄片队列微电极，包括电极本体和薄片电极；电极本体为条形；薄片电极设有多个，多个薄片电极成队列的固定连接电极本体的一侧边；薄片电极为条形薄片，其一端固定连接电极本体，相对的另一端为自由端；自由端的端面为加工端面；薄片电极厚度方向设有贯穿薄片电极的随形孔。

进一步地，加工端面设有内凹的微结构加工槽或外凸的微结构加工凸起。

进一步地，当加工端面设有内凹的微结构加工槽时，微结构加工槽底部与随形孔侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工槽底部与随形孔侧壁相重叠的部分间的距离相等；

当加工端面设有外凸的微结构加工凸起时，微结构加工凸起与随形孔侧壁相重叠部分的形状相同，使微结构加工凸起与随形孔侧壁相重叠的部分间的距离相等。

进一步地，加工端面为平面或斜面。

进一步地，新型的薄片队列微电极为一体构件。

进一步地，薄片电极的两个侧壁分别设有阻反应凹槽；阻反应凹槽为开口边大于凹槽底部的梯形槽；阻反应凹槽的深度距离大于放电间隙。

进一步地，薄片电极的两个侧壁上的两个阻反应凹槽相互对称。

本发明新型的薄片队列微电极不但设有随形孔，可以将微细电火花加工的过程中产生的电蚀产物及时排出，进而有效的减小新型的薄片队列微电极损耗的递减效应；而且还设有阻反应凹槽，可以减小新型的薄片队列微电极微细电火花加工结果的边缘锥度问题，提高加工微型腔有侧壁为直壁的情况下的加工精度。

附图说明

图1为本发明新型的薄片队列微电极一实施例的结构示意图；

图2为图1中圆圈A中的结构放大示意图；

图3为图1中薄片电极另一实施例的结构放大示意图；

图4为图1中薄片电极第三实施例的结构放大示意图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式