[发明专利]一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统及方法

权利要求书

1.一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统，其特征在于：包括夹具(1)、阳极工件(2)、阴极工具(3)、电源(4)、电解液(5)以及PDMS模板(6)，所述夹具(1)内部为工作腔，阳极工件(2)、PDMS模板(6)以及阴极工具(3)均位于工作腔内，所述阳极工件(2)和阴极工具(3)分别连接电源(4)的正负极，所述夹具(1)具有进液口和出液口，进液口和出液口分别位于夹具(1)两侧，所述阳极工件(2)位于工作腔底部，阳极工件(2)位于PDMS模板(6)下方，PDMS模板(6)由长方体状的PDMS构成，各个PDMS模板彼此间隔开，所述阴极工具(3)具有沟槽阵列结构，沟槽的一端贯通、另一端为非贯通结构，沟槽用于安装PDMS模板(6)时的定位，阴极工具(3)上的沟槽的宽度与每个PDMS模板(6)的宽度相等，阴极工具(3)上的沟槽的长度与每个PDMS模板(6)的长度相等，阴极工具(3)上的沟槽的深度比每个PDMS模板(6)的厚度小300μm。

2.如权利要求1所述的基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工系统，其特征在于：所述阴极工具(3)上沟槽的非贯通结构的宽度为300μm。

3.一种基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工方法，其特征在于：包括如下步骤：

a、制作夹具(1)，夹具(1)的进液口和出液口分别位于夹具两侧，保证电解液(5)流动方向与待加工沟槽方向一致；

b、制作阴极工具(3)，阴极工具(3)具有均匀沟槽阵列结构，沟槽的一端贯通、另一端为非贯通结构；

c、制作PDMS模板(6)，采用抽真空辅助的方式使PDMS胶体填充模具，加热固化后得到PDMS模板，阴极工具(3)上的沟槽的宽度与每个PDMS模板(6)的宽度相等，阴极工具(3)上的沟槽的长度与每个PDMS模板(6)的长度相等，阴极工具(3)上的沟槽的深度比每个PDMS模板(6)的厚度小300μm；

d、分别将各个PDMS模板(6)塞进阴极工具(3)上的沟槽中；

e、将带有PDMS模板(6)的阴极工具(3)和阳极工件(2)通过夹具(1)装夹在一起，PDMS模板(6)与阳极工件(2)表面贴合；

f、阳极工件(2)和阴极工具(3)分别连接电源(4)的正负极；

g、电解液(5)通过采用侧向冲液的方式从阴极工具(3)和阳极工件(2)之间的间隙流过；

h、接通电源(4)，进行电解加工。

4.如权利要求3所述的基于PDMS模板的沟槽阵列电解加工方法，其特征在于：所述电解液压强大于0.1MPa。