[发明专利]基板搬送装置

权利要求书

1.一种基板搬送装置，其具有：搬送用机器人，其对基板进行搬送；手，其设置在该搬送用机器人上；以及垫，在该手的上表面上设置有多个所述垫，对所述基板的下表面的外周部进行支承，该基板搬送装置的特征在于，

所述垫包含：

弹性层支承部，其以沿着所述垫的上表面延伸的方式层叠；以及

弹性层，其以沿着所述弹性层支承部的上表面延伸的方式层叠，该弹性层的一部分从所述弹性层支承部相对于所述基板的中心向内侧或外侧突出，

从所述弹性层支承部突出的所述一部分与所述基板接触而挠曲变形。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述弹性层因所述基板的载荷而挠曲变形，由此增加与所述基板接触的接触面积。

3.根据权利要求1或2所述的基板搬送装置，其特征在于，

所述一部分与所述基板接触时，因所述基板的载荷而能够在与所述一部分的突出方向交叉的方向上挠曲变形。