[发明专利]一种基于点扩散函数测量的物镜检测装置

权利要求书

1.一种基于点扩散函数测量的物镜检测装置，其特征在于，包括激光器、可变单色滤光片转轮、扩束镜、分光镜、物镜、三维纳米位移台、透镜、探测器及计算机，所述激光器可出射宽波段白激光、所述可变单色滤光片转轮可选择地透射不同波长的单色光，所述三维纳米位移台上固定有金纳米粒子，所述三维纳米位移台及所述探测器分别电性连接于所述计算机，所述计算机可控制所述三维纳米位移台移动，其中：

所述激光器出射的宽波段白激光经所述可变单色滤光片转轮后形成包括若干波长的单色激光束，所述单色激光束经所述扩束镜准直后再通过所述分光镜入射进入所述物镜，所述单色激光束经所述物镜聚焦后在其焦点处形成三维分布的光斑，所述三维分布的光斑呈PSF分布；

位于所述物镜焦点处的金纳米粒子经所述光斑照射后产生散射的激光信号，所述激光信号再依次经所述物镜及所述分光镜后入射进入所述透镜，所述透镜汇聚所述激光信号并经所述探测器探测形成的探测信号记录于所述计算机中；

所述计算机控制纳米位移台移动，并带动所述金纳米粒子在所述PSF所在的空间区域内移动，实现所述金纳米粒子在PSF分布区域的三维扫描，并建立所述探测信号与所述金纳米粒子的三维位置信息的对应关系，实现PSF的三维测量。

2.根据权利要求1所述的基于点扩散函数测量的物镜检测装置，其特征在于，所述激光器为宽波段超连续谱激光器。

3.根据权利要求1所述的基于点扩散函数测量的物镜检测装置，其特征在于，依次经所述扩束镜、所述分光镜后入射进入所述物镜的单色激光束的光斑直径大于所述物镜的光瞳直径。

4.根据权利要求1所述的基于点扩散函数测量的物镜检测装置，其特征在于，所述三维纳米位移台为纳米压电位移台。