[发明专利]一种阵列基板及其制备方法、显示面板

权利要求书

1.一种阵列基板，其特征在于，包括衬底，所述衬底上设有存储电容电极线，以及覆盖所述存储电容电极线的绝缘层，所述绝缘层上同层设置有相互绝缘的数据线和遮光金属线，所述遮光金属线设置在所述数据线两侧，所述数据线包括依次设置的多层导电结构，其中，靠近所述绝缘层的导电结构的材料相较于远离所述绝缘层的导电结构的材料不易被干法刻蚀，所述靠近所述绝缘层的导电结构与所述遮光金属线同层；所述数据线在衬底上的正投影与所述存储电容电极线在衬底上的正投影无重合区域；

在平行于衬底所在平面内且垂直于所述数据线延伸的方向上，所述遮光金属线与所述数据线之间的尺寸为d1，所述存储电容电极线与所述数据线之间的尺寸为d，d1≤d。

2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述数据线包括依次设置的第一导电线、第二导电线，所述第一导电线相较于所述第二导电线更靠近所述绝缘层设置；所述第一导电线由Al构成，所述第二导电线由Mo构成。

3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述数据线与所述遮光金属线平行设置。

4.根据权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，在所述数据线的同一侧且平行于衬底所在平面内，所述遮光金属线远离所述数据线的一侧至所述数据线的距离小于所述存储电容电极线远离所述数据线的一侧至所述数据线的距离。

5.一种阵列基板的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

在衬底上形成存储电容电极线；

在衬底上形成覆盖所述存储电容电极线的绝缘层；

在所述绝缘层上形成相互绝缘的数据线和遮光金属线；其中，所述遮光金属线设置在所述数据线两侧，所述数据线包括依次设置的多层导电结构，其中，靠近所述绝缘层的导电结构的材料相较于远离所述绝缘层的导电结构的材料不易被干法刻蚀，所述靠近所述绝缘层的导电结构与所述遮光金属线同层；在平行于衬底所在平面内且垂直于所述数据线延伸的方向上，所述遮光金属线与所述数据线之间的尺寸为d1，所述存储电容电极线与所述数据线之间的尺寸为d，d1≤d；

所述数据线包括依次设置的第一导电线、第二导电线，所述第一导电线相较于所述第二导电线更靠近所述绝缘层设置，所述形成相互绝缘的数据线和遮光金属线包括以下步骤：

在所述绝缘层上形成第一导电层；

在所述第一导电层上形成第二导电层；

采用半色调工艺使第一导电层形成遮光金属线和第一导电线，使第二导电层形成第二导电线。

6.一种显示面板，其特征在于，包括彩膜基板以及权利要求1-4任一项所述的阵列基板。

7.根据权利要求6所述的显示面板，其特征在于，所述彩膜基板上设有遮光层，所述遮光金属线在衬底上的正投影落入所述遮光层在衬底上的正投影范围内。