[发明专利]增强液压系统摩擦副耐磨特性的方法及液压系统摩擦副、液压系统

权利要求书

1.一种增强液压系统摩擦副耐磨特性的方法，其特征在于，所述液压系统摩擦副包括第一配副和第二配副，所述方法包括：

对所述第一配副的基体进行清洁处理，得到洁净的基体；

通过磁控溅射气相沉积方法在所述洁净的基体表面形成金属氮化物过渡层；

通过磁控溅射气相沉积方法在所述金属氮化物过渡层表面形成类富勒烯碳涂层；

在所述第二配副的基体表面形成氧化铝涂层或氮化硅涂层；

其中，沉积所述金属氮化物过渡层的条件为：靶材为金属材料，偏压为400～1000V，工作气体为氩气和氮气，气压为5～10Pa，沉积时间为15～45分钟；

沉积所述类富勒烯碳涂层的条件为：工作气体为甲烷和氢气，气压为5～10Pa，沉积时间为150～300分钟。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述清洁处理包括：

将所述第一配副的基体依次放入石油醚和酒精中超声清洗；

将经过超声清洗的第一配副的基体进行干燥处理；

将经过干燥的第一配副基体进行等离子清洗。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述等离子清洗的条件为：

真空度1.0×10^-4～1.0×10^-3Pa；

氩气保护并控制气压在5～10Pa；

偏压700～800V；

导通比0.5～0.8；

等离子清洗时间为30～60分钟。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，形成所述第一配副的基体的材料包括选自轴承钢、不锈钢、38CrMoAl、球墨铸铁、普通灰铸铁中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，沉积所述金属氮化物过渡层的所述靶材为铬或铝。

6.根据权利要求1的方法，其特征在于，形成所述第二配副的基体的材料包括铜合金、轴承钢、氧化铝和氮化硅中的至少一种。

7.根据权利要求1的方法，其特征在于，所述氧化铝或氮化硅涂层是通过等离子体喷涂或化学气相沉积法形成的。

8.一种液压系统摩擦副，其特征在于，是通过权利要求1-7中任一项所述的方法增强耐磨特性后获得的。

9.一种液压系统，其特征在于，包括权利要求8所述的液压系统摩擦副。