[发明专利]磁控溅射腔室及托盘位置误差检测方法

权利要求书

1.一种磁控溅射腔室，包括腔体、设置于所述腔体内的基座、旋转轴、传输臂、托盘和检测传感器，其中，所述传输臂与所述旋转轴连接，所述托盘置于所述传输臂的一端，所述旋转轴带动所述传输臂在所述腔体内转动，以带动所述托盘在所述腔体内移动，其特征在于，

以所述基座所在平面为投影面，将所述旋转轴、所述传输臂、所述托盘和所述检测传感器投影至所述投影面上；

预设所述旋转轴和所述基座的中心在所述投影面上的连线为l_o，预设所述传输臂与所述l_o重合时的位置为第一极限位置，预设在第二极限位置时所述传输臂与所述l_o的夹角为Ф，所述传输臂在第一极限位置与第二极限位置之间转动；

所述检测传感器与所述旋转轴的距离L满足以下关系式：R-rLR+r；

所述检测传感器和所述旋转轴的连线l_e与所述l_o之间的夹角θ满足以下关系式：0θФ；且

所述检测传感器与所述基座中心的距离大于r，且其与所述传输臂位于第二极限位置时所述托盘中心的距离大于r；

其中，R表示所述基座中心与所述旋转轴之间的距离，r表示所述托盘的半径。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射腔室，其特征在于，所述检测传感器为对射式光电传感器。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射腔室，其特征在于，还包括电机，所述电机与所述旋转轴连接，通过所述电机驱动所述旋转轴转动，以带动所述传输臂在第一极限位置和第二极限位置之间转动。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的磁控溅射腔室，其特征在于，还包括车库，所述车库设置在所述腔体的侧壁上，并与所述腔体连通。

5.一种托盘位置误差检测方法，其特征在于，通过权利要求1-4中任一项所述的磁控溅射腔室实现，该方法包括以下步骤：

在误差检测之前，确定托盘相对于传输臂不存在位置误差时，传输臂位于第一基准位置和第二基准位置时对应的转角α和β，其中，所述第一基准位置是所述检测传感器首次检测到所述托盘的位置，所述第二基准位置是所述检测传感器最后检测到所述托盘的位置；

在误差检测时，确定所述传输臂位于第一检测位置和第二检测位置时对应的转角α’和β’，所述第一检测位置是所述检测传感器首次检测到所述托盘的位置，所述第二检测位置是所述检测传感器最后检测到所述托盘的位置；

比较所述转角α与所述转角α’，如果α≠α’，则确定所述托盘相对于所述传输臂存在位置误差，和/或比较所述转角β与所述转角β’，如果β≠β’，则确定所述托盘相对于所述传输臂存在位置误差。

6.根据权利要求5所述的托盘位置误差检测方法，其特征在于，通过电机驱动所述旋转轴转动，以带动所述传输臂在第一极限位置和第二极限位置之间转动，且通过所述电机读取所述传输臂对应的转角。

7.根据权利要求5所述的托盘位置误差检测方法，其特征在于，还包括：

比较托盘圆心与旋转轴之间的距离R’和所述R，如果R’≠R，则确定所述托盘相对于所述传输臂存在位置误差。

8.根据权利要求7所述的托盘位置误差检测方法，其特征在于，当L*cosγ'≤R时，通过以下公式计算所述距离R’：

R’＝L*cosγ'+(r²-h'²)^1/2

其中：

h’＝L*sinγ'

9.根据权利要求7所述的托盘位置误差检测方法，其特征在于，当L*cosγ'≥R时，通过以下公式计算所述距离R’：

R’＝L*cosγ'-(r²-h'²)^1/2

其中：

h’＝L*sinγ'