[发明专利]一种旋转铌靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201710350812.2 | 申请日： | 2017-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN107130216B | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 罗永春;胥小勇;石煜;曾墩风;王志强;雷雨;江涛 | 申请（专利权）人： | 芜湖映日科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 南京正联知识产权代理有限公司 32243 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 241000 安徽省芜湖*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铌靶 制备 等离子喷涂 晶粒 铌材料 靶材 喷涂 氧氮 修补 制造 | ||
【权利要求书】：
1.一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述旋转铌靶材的密度为7.6-8.2g/cm3，所述旋转铌靶材的氧含量为3000-6000ppm，所述旋转铌靶材的氮含量为2000-12000ppm，所述旋转铌靶材的晶粒尺寸≤15μm，所述制备方法步骤如下：
步骤一：将基体表面进行喷砂清理，并喷涂打底层；
步骤二：使用热喷涂设备将铌粉末或铌丝喷涂在基体表面；
步骤三：对靶材表面进行剖光处理，并对其进行两端进行机加工处理。
2.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤二中对靶材进行喷涂时使用惰性气体做气氛保护。
3.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：所述步骤一中基体为合金管。
4.如权利要求1所述的一种旋转铌靶材的制备方法，其特征在于：此旋转靶材经磁控溅射使用后的残靶材，经过表面清洁处理后可继续使用热喷涂的方法进行喷涂修复得到新靶材。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于芜湖映日科技有限公司，未经芜湖映日科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710350812.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
