[发明专利]一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置

权利要求书

1.一种用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，包括：

一用于溶解食盐的溶盐槽(1)；

一用于提供电解食盐水的盐水高位槽(3)，所述盐水高位槽(3)与所述溶盐槽(1)连通；

一用于提供稀盐酸的盐酸槽；以及

一用于通入食盐水和稀盐酸在电流的作用下产生电化学反应、Cl^-被氧化为Cl₂并输出至三氯化铁刻蚀液使用的电解槽(7)。

2.根据权利要求1所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述电解槽(7)内设置有至少一个用于氧化阳极液生产氯气的阳极框组件、至少一个用于还原阴极液生产氢气的阴极板(16)；所述阳极框组件包括阳极框(8)、设置于所述阳极框(8)框体内的阳极板(15)、分别密封设置于所述阳极框(8)两侧框体上的离子交换膜，所述离子交换膜位于所述阴极板(16)和所述阳极板(15)之间、H₂O、H⁺自由通过、而Na⁺、Cl^-、Cl₂不能通过；所述电解槽(7)被所述离子交换膜分割成阴极液室(18)和由所述阳极框组件组成的阳极液室(17)。

3.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极框组件和所述阴极板(16)并排、间隔设置，所述阳极框组件的阳极框(8)框体上设置有一氯气管路(11)和一导气管(12)。

4.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阴极板(16)与阴极导电板(6)连接；所述阳极板(15)的上下两端分别设有阳极导电溢流管(13)和阳极导电进液管(14)。

5.根据权利要求4所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极导电溢流管(13)穿过所述阳极框(8)的框体与阳极导电板(5)连接并与出盐水管道(10)连通；所述阳极导电进液管(14)穿过所述阳极框(8)的框体与阳极导电板(5)连接并与进盐水管道(9)连通；所述阳极导电溢流管(13)通过出盐水管道(10)连通所述溶盐槽(1)，所述阳极导电进液管(14)通过进盐水管道(9)连通所述盐水高位槽(3)。

6.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阴极液室(18)内的阴极液呈内循环状态，所述阴极液室(18)内设有pH传感器、温度传感器和液位计。

7.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述阳极液室(17)内产生的Cl₂通过氯气管路(11)通入三氯化铁刻蚀液中，以将所述三氯化铁刻蚀液中的Fe²⁺氧化为Fe³⁺，所述氯气管路(11)上安装有气体流量计。

8.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，还包括一用于接收所述阴极液室(18)产生的氢气的氢气收集装置，所述氢气收集装置位于所述电解槽(7)上方。

9.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，所述盐酸槽通过盐酸管路连通所述阴极液室(18)，并维持所述阴极液室(18)内的阴极液呈酸性状态。

10.根据权利要求2所述的用于三氯化铁刻蚀液再生的循环电解装置，其特征在于，还包括一用于将交流电变为直流电、并通过所述阳极导电板(5)和所述阴极导电板(6)分别供给所述阴极板(16)和所述阳极板(15)的整流器(2)。