[发明专利]一种低温真空蒸发源有效
| 申请号： | 201710350948.3 | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107217236B | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 郭方准;张晓敏;臧侃;董华军;李红娟;杨云 | 申请（专利权）人： | 大连交通大学 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 高永德;李洪福 |
| 地址： | 116028 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 低温 真空 蒸发 | ||
1.一种低温真空蒸发源，其特征在于，包括：加热系统、冷却系统、测温系统、控制系统、连接组件；
所述加热系统包括：
电极端口(8)、加热灯丝(16)、屏蔽罩(13)、坩埚(14)、固定环(15)、底片(17)和电极连接件(11)；
其中，加热灯丝(16)与多个固定环(15)围成中空筒状加热芯，屏蔽罩(13)罩于加热芯外部，坩埚(14)嵌入于加热芯顶部，底片(17)固定于加热芯底端，加热灯丝(16)伸出的供电接头通过电极连接件(11)与电极端口(8)伸出的供电线连接；
所述冷却系统包括：
冷却罩(20)、进水管(18)、出水管(19)、进水管接头(3)和出水管接头(9)；
所述冷却罩(20)罩置于屏蔽罩(13)外部，冷却罩(20)本体为内外两层罩壁之间带有密闭柱形腔的带腔罩体；
其中，进水管(18)一端伸入于与冷却罩(20)的柱形腔的入口位置，另一端与进水管接头(3)连接；出水管(19)一端伸入于却罩(20)的柱形腔的出口位置，另一端与出水管接头(9)连接；
所述测温系统包括：
电偶丝(6)和热电偶测温器接入口(2)；
所述电偶丝(6)一端穿过底片上预设的小孔置于坩埚(14)底端1-3mm处，一端用螺栓与热电偶测温器接入口(2)连接；
所述控制系统包括：
旋转挡板(7)和波纹管旋转导入器(1)；
所述旋转导入器(1)穿过冷却罩(20)，且其顶端超出冷却罩(12)顶端5-10mm，所述旋转挡板(7)用螺母固定在回转杆上距冷却罩(12)顶端3-6mm；
所述连接组件包括：
法兰(4)和固定片(10)；
所述法兰(4)一侧焊接进水管接口(3)、出水管接口(9)、电极端口(8)、热电偶测温器接口(2)、旋转导入器(1)，其余上述部件均设置于法兰(4)的另一侧；
其中，电极端口(8)伸出的两条供电线之间设置有用于保持间距并限位的固定片(11)。
2.根据权利要求1所述的一种低温真空蒸发源，其特征在于：
所述进水管(18)一端伸入于与冷却罩(20)的柱形腔的入口位置3-5mm；所述出水管(19)一端伸入于冷却罩(20)的柱形腔的出口位置3-5mm。
3.根据权利要求1所述的一种低温真空蒸发源，其特征在于：
所述屏蔽罩(13)为两层Ta片做成的屏蔽罩。
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