[发明专利]工件的板厚计测用窗结构

说明书

本发明提供一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。工件的板厚计测用窗结构(1)具备：计测孔(2)，其贯穿用于研磨薄板状的工件(W)的研磨装置(201)的上定盘(211)的上下表面(211a、211b)；以及窗部件(3)，其被插入在计测孔(2)中。窗部件(3)具有：筒状部(31)，其下端侧被插入在计测孔(2)中；以及具有透光性的窗板(32)，其被设置在筒状部(31)的下端处。工件的板厚计测用窗结构(1)还具备：固定部(4)，其以面接触的方式而对筒状部(31)的上端侧的外周面(31a)进行保持并被固定在上定盘(211)的上表面(211a)上。

技术领域

本发明涉及工件的板厚计测用窗结构。

背景技术

现在，为了使硅晶片、玻璃、陶瓷、水晶等的薄板状的工件的双面或单面平坦而使用有对研磨工件进行研磨的研磨装置。

在这种研磨装置上，通常连接有在工件的研磨过程中对工件的板厚进行计测的板厚计测装置。作为这种板厚计测装置，已知有一种例如将红外线照射至工件上并接收(受光)反射的反射光而对工件的板厚进行计测的装置。

在研磨装置的定盘(Surface plate)上设置有：如专利文献1所示那样的计测用窗结构(工件的板厚计测用窗结构)。这种计测用窗结构通过在贯通研磨装置的定盘的表面及背面的计测孔中安装窗部件而形成。窗部件由一端侧被插入至计测孔中的筒状部、被设置在筒状部的一端的具有透光性的窗板、以及被设置在筒状部的另一端侧的固定部所构成。固定部被固定在定盘的表面上。这样构成的专利文献1的计测用窗结构，使从板厚计测装置发射的红外线通过筒状部并透过窗板而照射到工件的表面，并且使工件的表面及背面所反射的反射光透过窗板并通过筒状部而使板厚计测装置接收(受光)。

(在先技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2013-223908号公报

发明内容

(发明所要解决的问题)

然而，在专利文献1的计测用窗结构中，由于固定部对窗部件的筒状部的另一端进行保持并被固定在定盘的表面上，因此存在有窗部件因定盘的振动等而意外倾斜的情况。在此情况下，窗部件无法使工件的板厚计测所需的量的红外线、反射光透过，因此会导致板厚计测装置所测得的板厚的计测值的精度下降。于是，需要一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。

本发明是鉴于上述的问题而完成的，其目的在于，提供一种能够将窗部件稳定地固定在定盘的表面上的工件的板厚计测用窗结构。

(用于解决问题的方法)

本发明的工件的板厚计测用窗结构具备：计测孔，其贯穿研磨薄板状的工件的研磨装置的定盘的表面及背面；窗部件，其具有一端侧被插入至所述计测孔中的筒状部及被设置在所述筒状部的一端处的具有透光性的窗板；以及固定部，其以面接触的方式而对所述筒状部的另一端侧的外周面进行保持并被固定在所述定盘的表面上。

(发明的效果)

在本发明的工件的板厚计测用窗结构中，固定部以面接触的方式而对筒状部的另一端侧的外周面进行保持。据此，与现有技术相比，固定部保持窗部件的筒状部的范围变宽，因此能够以预先调整好的角度而持续地对窗部件的筒状部进行保持。因此，本发明的工件的板厚计测用窗结构能够将窗部件稳定地固定于定盘的表面上。

附图说明

图1为示出应用了本发明的一个实施方式的工件的板厚计测用窗结构的研磨系统的结构的模式图。

图2为本发明的一个实施方式的工件的板厚计测用窗结构的纵剖视图。

图3为构成本实施方式的工件的板厚计测用窗结构的套筒的俯视图。