[发明专利]基底片存储器

说明书

本发明揭示了一种基底片存储器，包括承载机构和输送机构，承载机构具有多个凹槽，多个凹槽沿着承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个凹槽分别对应一个基底片，输送机构用来带动凹槽沿着承载机构的长度方向移动，便于基底片的抓取或存放，通过凹槽将基底片分隔开来，有效避免了基底片的相互吸附，造成连带情况的出现。

技术领域

本发明涉及存储器，尤其涉及一种用于晶圆片的存储器。

背景技术

晶圆片在生产线上经过工艺制造后，例如经过化学研磨、清洗、腐蚀清洗或者表面涂布等工艺，需要根据晶圆片的厚度、大小或表面状况等条件以分类存放到相应存储器中，此后，在满足一定数量后再从该存储器中取出，并将分类后的晶圆片转入运输载具，进入下一步工序。

在现有技术中，位于存储器内的晶圆片之间会直接接触，因此造成相互污染，以及在存取过程中会造成晶圆片的磨损，无法满足晶圆片独立存放、不可有任何接触的功能要求。另外，各晶圆片之间由于直接接触，因此晶圆片会相互吸附，在抓取过程中容易造成连带情况，连带发生时晶圆片计数将打乱，以及在抓取过程中连带发生后又掉落会造成产品损坏。

发明内容

本发明解决上述现有技术中的不足和问题的技术方案是：提供了一种防止基底片相互吸附的存储器。

为达到以上目的，本发明提供了一种基底片存储器，包括：

承载机构，所述承载机构具有多个凹槽，多个所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向阵列设置，其中，每个所述凹槽分别对应一个基底片；

输送机构，所述输送机构用来带动所述凹槽沿着所述承载机构的长度方向移动。

进一步，所述承载机构为齿形皮带，所述齿形皮带的齿槽为所述凹槽。

进一步，还包括两个滚筒、一个安装架和一个固定架，所述安装架的一端固定在所述固定架上，所述安装架的另一端为自由端，所述安装架的两端分别设置有一所述滚筒，两个所述滚筒之间通过所述齿形皮带传动连接，所述齿形皮带的齿槽朝外设置。

进一步，所述齿形皮带的两面分别设置有齿槽，其中，所述齿形皮带一面上的齿槽与所述滚筒啮合，另一面上的齿槽与基底片对应。

进一步，所述输送机构包括动力装置、执行机构和底板，所述执行机构的一端连接所述动力装置，另一端穿过所述固定架与所述底板连接，所述底板与所述齿形皮带连接，所述动力装置带动所述执行机构伸缩，进而带动所述齿形皮带转动。

进一步，所述输送机构包括动力装置，所述动力装置与所述滚筒连接，所述动力装置带动所述滚筒转动，进而带动所述齿形皮带转动。

进一步，所述基底片为晶圆片。

进一步，所述晶圆片呈方形，呈方形的所述晶圆片每一边分别至少对应一个所述承载机构。

进一步，呈方形的所述晶圆片每一边分别对应两个所述承载机构。

进一步，所述安装架和所述固定架之间加装有垫片，并通过紧固件固定。

据优选实施例，本发明提供了如下优点：

本发明通过凹槽与晶圆片对应，有效避免了晶圆片之间的污染和磨损，因此提高了晶圆片的质量。还有，防止了晶圆片之间相互吸附而造成计数错误，以及避免了在抓取过程中因吸附晶圆片掉落所造成的生产线混乱，因此大大提高了生产线的工作效率。

以下结合附图及实施例进一步说明本发明。

附图说明

图1为本发明所述基底片存储器第一实施例的立体图；

图2为图1应用于晶圆片的示意图；

图3为图1的主视图；