[发明专利]一种用于压印模板的真空沉积装置

说明书

本发明公开一种用于压印模板的真空沉积装置，其包括：壳体，在壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口，气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内；抽真空组件，包括：与密封空腔连通的真空接口以及与真空接口连接的抽真空装置。本发明一种用于压印模板的真空沉积装置，其结构简单，操作便捷，可以有效在压印模板表面均匀附着一层FDTS膜，降低压印模板的表面能，提高其疏水性。

技术领域

本发明涉及微纳加工领域，具体涉及一种用于压印模板的真空沉积装置。

背景技术

纳米压印技术，是微纳米器件制作工艺中的一个重要技术，纳米压印技术最早由Stephen Y Chou教授在1995年率先提出，这是一种不同与传统光刻技术的全新图形转移技术。纳米压印技术的定义为：不使用光线或者辐照使光刻胶感光成形，而是直接在硅衬底或者其它衬底上利用物理学的机理构造纳米尺寸图形。

软模板是一种简单方便的纳米压印模板复制材料，通常由本体材料和固化剂按一定比例混合而成，去除气泡后浇注在压印模板(母模板)表面，通过加热固化成弹性硅橡胶材料的工作模板。压印模板常采用硅片，在浇注前需要在压印模板的表面进行涂一层单分子FDTS层，以降低压印模板表面的表面能。传统的涂膜方法为直接在压印模板上进行涂抹，均匀度差，效率低下。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提出了一种用于压印模板的真空沉积装置，其结构简单，操作便捷，可以有效在压印模板表面均匀附着一层FDTS膜，降低压印模板表面能，提高其疏水性。

为了达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于压印模板的真空沉积装置，包括：壳体，在壳体上设有一密封空腔，压印模板放置于该密封空腔内，在壳体上设有与密封空腔连通的药品接口，气态的FDTS从该药品接口进入密封空腔内；抽真空组件，包括：与密封空腔连通的真空接口以及与真空接口连接的抽真空装置。

本发明结构简单，采用气态的FDTS在压印模板表面沉积来实现在压印模板上附膜的效果，其工作效率高，可以同时对多个压印模板进行附膜，且材料FDTS在压印模板上沉积均匀，压印模板表面的FDTS膜厚度均匀，质量好，有效降低压印模板的表面能，提高其疏水性。

在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：

作为优选的方案，还包括：药品储存罐以及用于给药品储存罐加热的加热组件，药品储存罐通过连接管与药品接口连通，药品储存罐内盛放液态的FDTS。

采用上述优选的方案，结构简单，药品储存罐采用连接管与药品接口连通，不会对外界环境造成污染，有效提高工作人员的安全系数。

作为优选的方案，在连接管上设有单向阀。

采用上述优选的方案，防止密封空腔内的FDTS倒流回药品储存罐内部，造成污染。

作为优选的方案，加热组件为加热管，药品储存罐与连接管通过加热管连接。

采用上述优选的方案，采用加热管的加热方法使得药品储存罐内的药品汽化，不易对药品储存罐内的药品造成污染，且加热管上方汽化的药品可以加速进入密封空腔，缩短汽化后的FDTS进入密封空腔的行径时间，保证FDTS可以有效在压印模板表面进行沉积。

作为优选的方案，加热组件为包覆于药品储存罐外壁的加热层，在加热层的外壁还附有保温层。

采用上述优选的方案，采用加热层的加热方法，结构简单，便于安装、更换和维修，可以快速对药品储存罐内的药品进行汽化。

作为优选的方案，在壳体上还设有与密封空腔连通的氮气接口，且在氮气接口处设有气阀开关。