[发明专利]多功能复合数控真空电子束加工设备

权利要求书

1.一种多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：该设备包括真空工作室(12)、安装在真空工作室(12)顶部的外置熔炼电子枪(3)、焊接电子枪(4)、表面扫描电子枪(5)、焊接电子枪的局部直线动密封运动机构(13)、以及电子枪高真空泵(14)；安装在真空工作室(12)下部的用于工作台引出的引出台(9)，安装在真空工作室(12)左右两边的用于关闭真空工作室(12)的移动门(8)，安装在真空工作室(12)内部下方的用于安装工件的直线运动工作台(11)，工作台导轨(10)、以及安装在真空工作室(12)内部的直线运动工作台上的可拆卸区熔电子枪模块(16)；安装在真空工作室(12)外部的电控与数控控制操作柜(15)、高压电源(7)、抽真空系统(2)、水冷系统(1)以及电器系统(6)；所述的直线运动工作台(11)为单方向运动式的运动式工作台，或者，所述的直线运动工作台(11)是X、Y两个方向双方向的运动式工作台；

熔炼电子枪(3)，安装在真空工作室(12)左边的顶壁上，配合安装工件的工作台一起对工件进行电子束熔炼、提纯及多金属融合等加工；焊接电子枪(4)，通过直线局部动密封运动机构安装在真空工作室(12)中部的顶壁上，配合安装工件的工作台一起对工件进行电子束焊接加工，焊接电子枪(4)可随着直线局部动密封运动机构在纵向Y方向上进行水平直线运动；表面扫描处理电子束枪(5)，安装在真空工作室(12)右边的顶壁上，配合安装工件的工作台一起对工件进行电子束表面强化及表面抛光加工。

2.根据权利要求1所述的多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：所述的直线局部动密封运动机构(13)包括：安装在真空工作室(12)顶部或侧板上的定拖板(135)，可拆卸的固定在所述的定拖板(135)上的定导轨(132)，所述的定拖板(135)上部设置有动拖板(131)，在所述的动拖板(131)下面安装有动导轨(134)，通过滚柱(133)将动拖板(131)及其上的零件支撑起来，使得动拖板(131)与定拖板(135)之间保持一个小的间隙，所述的动拖板(131)上安装电子枪(3)，所述的电子枪(3)可随着动拖板(131)一起在纵向作直线运动；所述的定拖板(135)上还安装有L型密封圈(137)，通过密封圈压条(136)将L型密封圈(137)固定在定拖板(135)上；在所述的定拖板(135)内部的凹槽内层设置有层叠伸缩铅防护系统(138)，在所述的定拖板(135)的下部与定拖板(135)固定，在所述的定拖板(135)的上部与动拖板(131)连接，在动拖板(131)运动时对X射线起防护作用。

3.根据权利要求1所述的多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：所述的内置式区熔电子枪模块(16)包括：区熔环形电子枪(161)，设置在区熔环形电子枪(161)底部的驱动工件旋转的运动系统(162)，设置在区熔环形电子枪(161)一侧的升降运动系统(163)，所述的升降运动系统(163)用于驱动区熔环形电子枪(161)进行升降运动。

4.根据权利要求3所述的多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：所述的区熔环形电子枪模块(16)为内置式可拆卸安装方式，在需要使用时将其安装在直线运动工作台上，所述的区熔环形电子枪模块(16)上设计了与驱动、电控、数控连接的导线束。

5.根据权利要求1所述的多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：所述的直线运动工作台(11)上通过工作台面上的T型槽进一步安装一旋转运动台。

6.根据权利要求1所述的多功能复合数控真空电子束加工设备，其特征在于：所述的直线运动工作台(11)的运动由电控与数控控制操作柜(15)进行电控和数控驱动控制。