[发明专利]一种宽光谱极紫外多层膜的鲁棒性膜系设计方法

权利要求书

1.一种宽光谱极紫外多层膜的鲁棒性膜系设计方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一：输入宽光谱极紫外多层膜膜系设计的初始参数值，包括种群规模N、多层膜优化设计的膜层数2p、变异概率p_m、交叉概率p_c、交叉算子η_c、变异算子η_p、进化代数j以及多层膜中膜层几何厚度的搜索区间；

步骤二：生成适用于表征宽光谱极紫外多层膜膜系的初始化父代种群Q；

步骤三：评估父代种群中每个个体的双目标适应度；

所述双目标适应度的评价函数为：

其中，评价函数f₁为表征多层膜膜系的个体的宽光谱光学性能，R(λ)为膜系计算反演的理论反射率，为膜系设计的目标反射率；评价函数f₂为膜系的膜层厚度经多次膜厚误差扰动后评价函数f₁的统计平均值，δ_d,i为多层膜中第i层膜的几何厚度误差的标准差；

步骤四：对表征宽光谱极紫外多层膜膜系的种群进行非支配排序，得出每个个体的非支配排序度，对同序列的非支配个体，采用拥挤度距离进一步排序；

步骤五：采用轮赛选择机制，对表征宽光谱极紫外多层膜膜系的个体的全部基因参数进行交叉操作，以此生成宽光谱极紫外多层膜膜系的子代种群；

步骤六：对表征宽光谱极紫外多层膜膜系的子代种群个体的单一基因进行变异操作；

步骤七：将表征宽光谱极紫外多层膜膜系的父代种群和子代种群进行合并，对合并种群中的个体逐一进行对比操作，如果两个个体的基因完全相同，则保留其一，而对另一个体的基因重新进行随机赋值；

步骤八：采用步骤三的评价函数对合并种群的个体进行双目标适应度计算；

步骤九：对表征宽光谱极紫外多层膜膜系的合并种群进行非支配排序，对同一序列中的非支配个体再依据其拥挤度距离进一步排序，并根据排序生成新的父代种群；

返回步骤三，直到进化达到要求的代数；

步骤十：获得宽光谱极紫外多层膜光学性能和膜系鲁棒性的双目标的接近Pareto前沿的非支配解集。

2.根据权利要求1所述的一种宽光谱极紫外多层膜的鲁棒性膜系设计方法，其特征在于，所述步骤一中，种群规模N为50-200，变异概率p_m为0.1-1.0，交叉概率p_c为0.1-1.0，交叉算子η_c为1-50，变异算子η_p为1-50，进化代数j为1000-3000。

3.根据权利要求2所述的一种宽光谱极紫外多层膜的鲁棒性膜系设计方法，其特征在于，所述步骤一中，种群规模N为100，变异概率p_m为0.1，交叉概率p_c为0.9，交叉算子η_c为2，变异算子η_p为2，进化代数j为3000。

4.根据权利要求1所述的一种宽光谱极紫外多层膜的鲁棒性膜系设计方法，其特征在于，所述多层膜为Mo/Si多层膜、Rh/Si多层膜、Ni/C多层膜或者Ru/C多层膜。