[发明专利]刻蚀终点检测设备固定装置在审
| 申请号： | 201710358099.6 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN106971956A | 公开（公告）日： | 2017-07-21 |
| 发明（设计）人： | 胡冬冬;李娜;车东晨;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司11511 | 代理人： | 袁伟东 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 刻蚀 终点 检测 设备 固定 装置 | ||
1.一种刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
包括：
固定套筒，其呈圆筒状，一端设有平面固定端，以上下可调节的方式固定于反应腔的观察窗盖；
探头固定座，其呈圆筒状，一端封闭且中心开有圆孔，可沿所述固定套筒内壁滑动；以及
终点检测探头，一端安装在所述探头固定座的圆孔处，另一端从所述探头固定座座内伸出。
2.根据权利要求1所述刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
所述反应腔的观察窗盖外周开设有螺纹孔，所述固定套筒的平面固定端对应开设有长孔。
3.根据权利要求2所述刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
所述长孔的长度根据所述终点检测探头的上下调节的高度范围设定。
4.根据权利要求1所述刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
所述固定套筒设置有紧固件，当所述终点检测探头调节到合适的探测距离后，对所述探头固定座进行固定。
5.根据权利要求4所述刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
所述紧固件为开设在所述固定套筒外壁的螺纹通孔和螺栓，当所述终点检测探头调节到合适的探测距离后，使用螺栓对称穿过所述螺纹通孔，将所述探头固定座夹紧在该位置。
6.根据权利要求5所述刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
所述螺纹通孔为两个，当所述终点检测探头距离反应腔观察窗较近时使用靠近所述反应腔观察窗的螺纹通孔，当距离所述反应腔观察窗较远时使用远离所述反应腔观察窗的螺纹通孔。
7.根据权利要求1～6中任一项所述的刻蚀终点检测设备固定装置，其特征在于，
其材质为铝或不锈钢。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
