[发明专利]用于分批向内装载和向外卸载基底的真空处理设备及方法

权利要求书

1.一种真空处理设备(100)，其具有：

装卸腔室装置(102)，该装卸腔室装置用于将基底(520)向内装载到处理腔室装置(122)中，或用于将基底(520)从处理腔室装置(122)向外卸载；以及

在装卸腔室装置(102)与处理腔室装置(122)之间的转运腔室装置(112)，所述转运腔室装置用于在处理腔室装置(122)中提供由分批借助于装卸腔室装置(102)向内装载的基底(520)构成的连续序列的基底(520)，或用于将连续序列的基底(520)分开，从而借助于装卸腔室装置(102)将基底(520)分批向外卸载；

其中，转运腔室装置(112)具有转运腔室，该转运腔室具有用于在转运腔室中容纳基底(520)的转运腔室长度(LT)，以及

其中，装卸腔室装置(102)具有三个彼此邻接的装卸腔室(102a、102b、102c)，所述装卸腔室被设置成，使其可分别单独借助于阀装置(104)分开，其中，装卸腔室中的每个具有装卸腔室长度(LS)，其中，装卸腔室长度(LS)小于转运腔室长度(LT)50％；以及

阀装置(104)，该阀装置这样地被设置，即在第一时间间隔中三个装卸腔室中的第一装卸腔室(102a)和第二装卸腔室(102b)连接成第一共用的装卸腔室(102a、102b)，在第二时间间隔中三个装卸腔室中的第一装卸腔室(102a)、第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)连接成第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)，且在第三时间间隔中三个装卸腔室中的第二装卸腔室(102b)和第三装卸腔室(102c)连接成第三共用的装卸腔室(102b、102c)。

2.根据权利要求1所述的真空处理设备，其此外具有运送系统，该运送系统具有多个借助于驱动装置被驱动的运送辊，用于将真空处理设备(100)内的基底(520)运送通过装卸腔室装置(102)、转运腔室装置(112)以及处理腔室装置(122)。

3.根据权利要求2所述的真空处理设备，其中，驱动装置这样地被设置，即连续序列的基底(520)在处理腔室装置(122)中均匀直线地被移动，且基底(520)在转运腔室装置(112)中被加速移动。

4.根据权利要求1所述的真空处理设备，其中，驱动装置这样地被设置，即在第一时间间隔中基底(520)被保持在第一共用的装卸腔室(102a、102b)中，在第二时间间隔中基底(520)从第一共用的装卸腔室(102a、102b)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中，且在第三时间间隔中基底(520)被保持在第三共用的装卸腔室(102b、102c)中。

5.根据权利要求1所述的真空处理设备，其此外具有真空泵装置，该真空泵装置用于至少对装卸腔室装置(102)抽真空，其中，真空泵装置这样地被设置，即在第二时间间隔中第二共用的装卸腔室(102a、102b、102c)被抽真空，而基底(520)从第一共用的装卸腔室(102a、102b)被运送到第三共用的装卸腔室(102b、102c)中。

6.根据权利要求5所述的真空处理设备，其此外具有用于对装卸腔室装置(102)进行通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置，即在第三时间间隔中，第三共用的装卸腔室(102b、102c)被抽真空或被抽成真空，而第一装卸腔室(102a)通风或被通风。

7.根据权利要求4所述的真空处理设备，其此外具有用于至少对装卸腔室装置(102)抽真空的真空泵装置以及用于对装卸腔室装置(102)通风的通风装置，其中，真空泵装置和通风装置这样地被设置，即为了向外卸载基底(520)，第三共用的装卸腔室(102b、102c)通风或被通风，而第一装卸腔室(102a)被抽真空或被抽成真空。