[发明专利]线路基板及线路基板的制造方法有效
申请号: | 201710362304.6 | 申请日: | 2017-05-22 |
公开(公告)号: | CN108962867B | 公开(公告)日: | 2020-08-11 |
发明(设计)人: | 刘德祥;柯正达;郭季海;林晨浩 | 申请(专利权)人: | 欣兴电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/498 | 分类号: | H01L23/498;H01L21/48 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 马雯雯;臧建明 |
地址: | 中国台湾桃园市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 线路 制造 方法 | ||
本发明提供一种线路基板,包括结构强化层及主体层。结构强化层具有多个第一开槽。主体层配置于结构强化层上且包括介电层及线路层,其中介电层具有多个第二开槽,这些第一开槽分别对位于这些第二开槽,线路层配置于介电层上。此外,一种线路基板的制造方法也被及提。
技术领域
本发明涉及一种基板及其制造方法,尤其涉及一种线路基板及其制造方法。
背景技术
目前在半导体封装技术中,线路基板是经常使用的构装元件之一,线路基板是由线路层及介电层叠合而成。随着线路基板的线路密度的提高以及电子装置的轻薄化趋势,线路基板的体积及厚度相应减小,从而其结构强度也有所降低,导致线路基板容易在制造过程中损坏。因此,如何有效强化线路基板的结构强度成为日渐重要的课题。
发明内容
本发明提供一种线路基板,具有较佳的结构强度。
本发明提供一种线路基板的制造方法,可避免线路基板于制造过程中损坏。
本发明的线路基板包括结构强化层及主体层。结构强化层具有多个第一开槽。主体层配置于结构强化层上且包括介电层及线路层,其中介电层具有多个第二开槽,这些第一开槽分别对位于这些第二开槽,线路层配置于介电层上。
在本发明的一实施例中,上述的线路基板是无核心(coreless)基板。
在本发明的一实施例中,上述的各第一开槽的轮廓吻合于对应的第二开槽的轮廓。
在本发明的一实施例中,上述的结构强化层具有相对的第一表面及第二表面,介电层具有相对的第三表面及第四表面,第二表面与第三表面相接合,各第一开槽贯穿于第一表面与第二表面之间,各第二开槽贯穿于第三表面与第四表面之间。
在本发明的一实施例中,上述的线路层及结构强化层分别位于介电层的相对两侧。
在本发明的一实施例中,上述的结构强化层的材料强度大于介电层的材料强度。
在本发明的一实施例中,上述的结构强化层的厚度小于主体层的厚度。
本发明的线路基板的制造方法包括以下步骤。提供承载层。形成结构强化层于承载层上。形成主体层于结构强化层上,其中主体层包括介电层及线路层,线路层配置于介电层上。形成多个第一开槽于结构强化层且形成多个第二开槽于介电层,其中这些第一开槽分别对位于这些第二开槽。将主体层及结构强化层分离于承载层。
在本发明的一实施例中,上述的形成这些第一开槽及这些第二开槽的步骤包括:使各第一开槽的轮廓吻合于对应的第二开槽的轮廓。
在本发明的一实施例中,上述的结构强化层具有相对的第一表面及第二表面,介电层具有相对的第三表面及第四表面,形成介电层、这些第一开槽及这些第二开槽的步骤包括:使第二表面与第三表面相接合,使各第一开槽贯穿于第一表面与第二表面之间,且使各第二开槽贯穿于第三表面与第四表面之间。
在本发明的一实施例中,上述的形成主体层于结构强化层上的步骤包括:使线路层及结构强化层分别位于介电层的相对两侧。
在本发明的一实施例中,上述的承载层上具有离形层(release layer),形成结构强化层的步骤包括:形成结构强化层于离形层上。
在本发明的一实施例中,上述的将介电层及结构强化层分离于承载层的步骤包括:将结构强化层分离于离形层。
在本发明的一实施例中,上述的线路基板的制造方法还包括:在将介电层及结构强化层分离于承载层之后,移除结构强化层。
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