[发明专利]光罩卡夹清洁装置及曝光机有效

专利信息
申请号: 201710364101.0 申请日: 2017-05-22
公开(公告)号: CN106950797B 公开(公告)日: 2020-06-05
发明(设计)人: 罗善高 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: G03F1/82 分类号: G03F1/82;G03F7/20
代理公司: 广州三环专利商标代理有限公司 44202 代理人: 郝传鑫;熊永强
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 光罩卡夹 清洁 装置 曝光
【权利要求书】:

1.一种光罩卡夹清洁装置,其特征在于,包括吸附部件(1),所述吸附部件(1)固定于光罩交换腔(21)的开口处,所述光罩交换腔(21)用于容纳光罩卡夹(3);

所述吸附部件(1)的吸附面朝向所述光罩卡夹(3)的表面设置;

所述吸附部件(1)包括:

用于吸附所述光罩卡夹(3)上异物的真空吸附管(11);以及

用于为所述真空吸附管(11)提供真空吸附动力的真空气体供应单元;

所述真空吸附管(11)面向所述光罩卡夹(3)的吸附面上分布有多个吸附单元(4);

所述真空吸附管(11)包括:

沿所述光罩卡夹(3)的高度方向从所述光罩卡夹(3)的上表面延伸至所述光罩卡夹(3)的下表面的侧壁吸附管(12);以及

沿所述光罩卡夹(3)的宽度方向从所述光罩卡夹(3)的一侧延伸至所述光罩卡夹(3)的另一侧的顶面吸附管(13);

其中,所述侧壁吸附管(12)的轴线以及所述顶面吸附管(13)的轴线均与所述光罩卡夹(3)的移动方向垂直。

2.根据权利要求1所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,所述侧壁吸附管(12)与所述光罩卡夹(3)的侧壁之间的距离小于或等于25mm;所述顶面吸附管(13)与所述光罩卡夹(3)的上表面之间的距离小于或等于25mm。

3.根据权利要求1或2所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,所述真空吸附管(11)上设置有用于与所述真空气体供应单元相连通的真空接口(14),所述真空接口(14)上设置有控制开关。

4.根据权利要求3所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,还包括传感器(5),所述传感器(5)包括位于所述光罩卡夹(3)的下方的光罩感应传感器(51)以及位于所述光罩交换腔(21)内侧的限位传感器(52);

所述控制开关与所述传感器(51)电连接。

5.根据权利要求1所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,所述吸附单元(4)为吸附孔(41)或真空吸盘。

6.根据权利要求5所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,所述吸附孔(41)为圆孔、方孔或圆锥孔。

7.根据权利要求6所述的光罩卡夹清洁装置,其特征在于,所述吸附孔(41)等间距分布。

8.一种曝光机,其特征在于,包括上述权利要求1-7中任意一项所述的光罩卡夹清洁装置以及光罩交换移动槽(6),所述光罩卡夹(3)设置于所述光罩交换移动槽(6)中,所述光罩交换移动槽(6)滑动地设置在所述光罩交换腔(21)中。

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