[发明专利]一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置有效

专利信息
申请号: 201710367072.3 申请日: 2017-05-23
公开(公告)号: CN107121748B 公开(公告)日: 2023-07-14
发明(设计)人: 秦廷海;全旭松;刘长春;陈海平;罗欢;叶海仙;熊召 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G02B7/00 分类号: G02B7/00
代理公司: 北京理工大学专利中心 11120 代理人: 仇蕾安;郭德忠
地址: 621054*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 口径 光学 元件 微挠性 结构 结合 装置
【权利要求书】:

1.一种大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置,其特征在于,该装置包括基板、光学元件、盖板、盖板螺钉和微挠性精调模块;

所述光学元件通过其自身的正面与基板内的三个支撑面接触安装,所述盖板通过盖板螺钉将光学元件固定在底框内部,所述微挠性精调模块安装在盖板上,微挠性精调模块采用宏动调节和微动调节相结合的方式来进行光学元件面型的调节,采用弹簧作为宏动调节的主要零件实现对光学元件面型的初步调节,采用微挠性结构件作为微动调节的主要零件实现对光学元件面型的精确调节;

所述微挠性精调模块包括精调模块箱体、十字弹性件、微力传感器、挠性精调件、微动调节螺钉,微动调节弹簧、微动调节螺母、宏动调节转接块、宏动调节螺钉、宏动调节弹簧和宏动调节螺母;

所述精调模块箱体的一个端面有一个过孔,内部表面有一个挠性精调件导向凸台和一个宏动调节转接块导向凸台,一个侧面有一个微动调节螺钉通过孔,另一个端面有一个宏动调节螺钉通过孔;

所述十字弹性件为一个圆柱体类零件,其一个端面为光学元件接触面,外圆柱面上沿着正交的方向分别切掉两道口后形成一个挠性十字轴,所述的十字弹性件的另外一个端面有一个微力传感器连接孔;

所述微力传感器为一个中间凸起的回转类零件,一侧为一个连接螺柱,另外一侧为安装螺柱;

所述挠性精调件是外形为M形的块状结构,其顶端有一个圆形的微力传感器安装孔,块状结构的中间部分有一个方形的挠性精调件导向孔,块状结构的两侧部分以中间部分左右对称,两侧部分与中间部分的相对面之间具有一个自顶端起渐宽的缝隙,两侧部分其中一个底部有一个微动调节螺钉通过孔,另外一个底部有一个微动调节螺钉安装孔,底部的两侧各有一个宏动调节转接块导向凸块;

所述宏动调节转接块为一个外形为n字形的块装零件,其内表面两侧分别有一个宏动调节转接块导向凹槽,其端面有一个微动调节螺母安装孔;

所述的十字弹性件上的光学元件接触面与光学元件的反面进行接触;所述十字弹性件上的微力传感器连接孔与微力传感器上的连接螺柱固定连接,所述微力传感器上的安装螺柱与挠性精调件上的微力传感器安装孔固定连接,所述的挠性精调件上的挠性精调件导向孔与精调模块箱体上的挠性精调件导向凸台滑动配合;所述挠性精调件上的宏动调节转接块导向凸块与所述宏动调节转接块上的宏动调节转接块导向凹槽为滑动配合;所述的宏动调节转接块与所述的精调模块箱体上的宏动调节转接块导向凸台为滑动配合;所述微动调节螺母与所述的挠性精调件上的微动调节螺钉安装孔固定连接,所述微动调节螺钉穿过挠性精调件上的微动调节螺钉通过孔和所述的微动调节弹簧与所述的微动调节螺母进行螺纹配合;所述的宏动调节螺母与所述的宏动调节转接块上的微动调节螺母安装孔固定连接,所述的宏动调节螺钉穿过所述的宏动调节弹簧与宏动调节螺母螺纹连接;

一个所述微挠性精调模块还包括两个直角块,所述直角块是一个截面为L形的块体类零件,两个面上均加工有连接孔;所述微挠性精调模块采用螺钉通过两个所述直角块上的连接孔与盖板上的安装孔进行连接安装。

2.如权利要求1所述的大口径光学元件的微挠性结构宏微结合精调装置,其特征在于,所述基板为一个矩形框体类零件,其各边截面为L字母形状,框体外边界的一侧为基板连接面,在所述的基板连接面上,框体的四个边每边各均匀布置了两个盖板安装孔,在L字母形状截面构成的凹槽上有一个基板受力面,所述基板受力面上呈等边三角形布局了三个承载面,其中一个承载面位于所述基板一边的中点,另外两个承载面均匀布局于所述基板一边的对边上;所述的光学元件为一个正方形薄片类零件,其中的一个大平面为正面,另一个大平面为反面;所述盖板为一个四格网状零件,其四个边上与所述基板上的盖板安装孔对应的位置分别布局了两个盖板连接孔,所述的盖板上呈3×3的位置关系均匀布置了九个过孔,每个过孔的周围布局了四个精调模块安装孔。

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