[发明专利]清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构

权利要求书

1.一种清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构，包括左摆架（4）上固定的惰性单元（1）、右摆架（5）上固定的驱动单元（2）、惰性单元（1）和驱动单元（2）之间卡接的带有PVA滚刷（26）的滚刷单元（3），其特征在于：所述惰性单元（1）包含一个中心孔为二阶梯圆孔的安装座（8），二阶梯圆孔左端大孔内安装有由内隔圈（9）、外隔圈（10）和轴承（11）组成的轴承组，二阶梯圆孔右端小孔内安装一个隔套（16），隔套（16）、轴承（11）和安装座（8）共同安装一个中心孔为供水通道、外部为三阶梯状的惰轴（15），三阶梯惰轴（15）右侧大径段处在安装座（8）外侧，中部中径段处在安装座（8）右侧小孔内，左侧细径段处在隔套（16）和轴承（11）的内孔中，中径段右侧面设有环槽（15-3），环槽（15-3）内置有格莱圈（7），格莱圈（7）与隔套（16）以及安装座（8）贴合连接，惰轴（15）于轴承（11）的左侧端头螺纹连接压紧螺母（6），安装座（8）左侧外部的大孔上镶插压盖（13），压盖（13）与安装座（8）之间设有O型密封圈（12），所述惰轴（15）的右端头部设置一个长方体形状的对接凹槽（15-2），对接凹槽（15-2）槽内的中心孔顶端设有与供水通道连通的惰轴圆锥孔（15-1），

所述驱动单元2包含由电机及减速器（21）、电机座（22）、直通接头（23）组成的动力输出总成和驱动轴座（24），驱动轴座（24）中心安装一个由右段小圆柱、中段大圆柱和左段四方柱（17-1）构成的驱动轴（17），驱动轴（17）右段小圆柱与电机及减速器（21）输出轴连接，中段大圆柱左侧端面环绕左段四方柱（17-1）设有一个环形压簧槽座（17-2），左段四方柱（17-1）端面中心设有一个螺纹孔（17-3），中段大圆柱外表面套接一个定心卡套（20），定心卡套（20）的内孔由卡套圆锥孔（20-1）、中间大方孔（20-2）、中间小方孔（20-3）和大圆孔从左至右依次构成，定心卡套（20）的大圆孔与驱动轴（17）环形压簧槽座（17-2）之间贴合连接一个压簧（18），驱动轴（17）左段四方柱（17-1）安装在定心卡套（20）的中间小方孔（20-3）内，左段四方柱（17-1）末端处在定心卡套（20）的中间大方孔（20-2）中，左段四方柱（17-1）通过限动螺钉（19）连接并限动定位卡套（20），

所述滚刷单元（3）中包含一个定位滚刷转轴（25），定位滚刷转轴（25）左端头部设有呈长方体状的对接大突台（25-4），对接大突台（25-4）上设有小凸锥（25-3），小凸锥（25-3）中心设有供水入口（25-5），供水入口（25-5）前端与惰轴（15）的供水通道连通，后端与定位滚刷转轴（25）的中心供水孔连通，定位滚刷转轴（25）的右端根部设有一个大凸锥台（25-1），大凸锥台（25-1）的锥台面上具有一个呈扁方体状的对接小突块（25-2），

所述定位滚刷转轴（25）的小凸锥（25-3）与惰轴（15）的惰轴圆锥孔（15-1）相互对插定位连接构成工作配合副，定位滚刷转轴（25）的对接大突台（25-4）与惰轴（15）的对接凹槽（15-2）相互镶嵌卡接构成传动工作配合副，定位滚刷转轴（25）的对接小突块（25-2）与定位卡套（20）的中间大方孔（20-2）相互插接构成传动工作配合副，定位滚刷转轴（25）的大凸锥台（25-1）与定位卡套（20）的卡套圆锥孔（20-1）相互对插定位连接构成工作配合副。

2.根据权利要求1所述的清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构，其特征在于：所述小凸锥（25-3）与惰轴圆锥孔（15-1）、对接大突台（25-4）与对接凹槽（15-2）、大凸锥台（25-1）与卡套圆锥孔（20-1）、对接小突块（25-2）与中间大方孔（20-2）、定位卡套（20）与驱动轴（17）五个连接节点轴心线共同处在同一个轴心线偏差带上。

3.根据权利要求1或2所述的清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构，其特征在于：所述定位卡套（20）与驱动轴（17）的配合公差精度高于对接小突块（25-2）与定位卡套（20）中间大方孔（20-2）以及对接大突台（25-4）与惰轴（15）对接凹槽（15-2）的配合公差精度。

4.根据权利要求1所述的清洗晶圆的滚刷单元同心卡接结构，其特征在于：所述定位卡套（20）在驱动轴（17）上具有一个伸缩移动轨迹。