[发明专利]一种MEMS器件及其防吸附方法

权利要求书

1.一种MEMS器件，其特征在于，包括可动结构、不可动结构、振荡器和多路电子切换开关；

所述可动结构包括可动质量块和固定在所述可动质量块上的可动梳齿；

所述不可动结构包括不可动基底以及固定在所述不可动基底上的至少两个固定梳齿；

所述振荡器用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，以使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开；

所述多路电子切换开关包括多个输入端和一个输出端；

所述多个输入端与所述至少两个固定梳齿分别连接；

所述输出端与所述振荡器的一端相连；所述振荡器的另一端与所述可动梳齿相连；

所述多路电子切换开关用于在所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，将所述振荡器和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通，以使所述振荡器向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号。

2.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述MEMS器件包括多个所述振荡器和多个所述多路电子切换开关，所述多路电子切换开关与所述振荡器一一对应设置。

3.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，还包括检测电路；

所述检测电路用于检测所述固定梳齿与所述可动梳齿是否发生吸附，并在任一所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附时，向所述多路电子切换开关发送控制信号，以控制所述多路电子切换开关将所述振荡器与未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通。

4.根据权利要求3所述的MEMS器件，其特征在于，所述检测电路通过检测所述固定梳齿与所述可动梳齿之间的电阻，判断所述固定梳齿与所述可动梳齿是否发生吸附。

5.根据权利要求1所述的MEMS器件，其特征在于，所述振荡器为压控振荡器。

6.根据权利要求5所述的MEMS器件，其特征在于，所述压控振荡器输出的振荡信号的频率范围至少覆盖所述可动梳齿的谐振频率范围。

7.一种MEMS器件的防吸附方法，其特征在于，应用于权利要求1～6任一项所述的MEMS器件，包括：

任一固定梳齿与可动梳齿发生吸附；

多路电子切换开关将振荡器和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通；

所述振荡器向所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿输出振荡信号，使所述可动梳齿和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿之间产生静电吸力，以使发生吸附的所述固定梳齿和所述可动梳齿分开。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，当所述MEMS器件包括检测电路时，所述多路电子切换开关将所述振荡器和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通之前，还包括：

所述检测电路检测所述固定梳齿与所述可动梳齿是否发生吸附，并在任一所述固定梳齿与所述可动梳齿发生吸附之后，向所述多路电子切换开关发送控制信号，以控制所述多路电子切换开关将所述振荡器和未与所述可动梳齿发生吸附的所述固定梳齿连通。