[发明专利]用于电子装置封装的设备和技术

权利要求书

1.一种用于提供衬底涂层的方法，包括：

将衬底转移到封闭的喷墨打印系统，其中，所述封闭的喷墨打印系统被配置成将有机材料沉积在沉积区域上，所述沉积区域在所述衬底上的发光装置的作用区域的至少一部分上；

使用所述封闭的喷墨打印系统将有机材料以图案的形式沉积在所述衬底的沉积区域上；

将具有有机材料沉积在其上的衬底转移到封闭的固化模块；

使用分布在衬底和衬底支撑设备之间的加压气垫将所述衬底支撑在封闭的固化模块中，所述加压气垫足以使衬底漂浮在衬底支撑设备上；和

使用所述封闭的固化模块使沉积在衬底的沉积区域上的有机材料经受紫外线处理，从而形成有机膜层，以封装发光装置的作用区域的至少该部分。

2.根据权利要求1所述的方法，在将衬底转移到封闭的喷墨打印系统中之后，还包括：

使用分布在衬底和第一衬底支撑设备之间的第一加压气垫将所述衬底支撑在封闭的喷墨打印系统中，以便使所述衬底漂浮在第一衬底支撑设备上；

其中，将所述衬底支撑在封闭的固化模块中包括使用分布在衬底和第二衬底支撑设备之间的第二加压气垫，以便使所述衬底漂浮在第二衬底支撑设备上。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，使用第一加压气垫和第二加压气垫中的至少一个支撑所述衬底抑制了在有机膜层上的不均匀。

4.根据权利要求2所述的方法，其中，将所述衬底支撑在封闭的喷墨打印系统和封闭的固化模块中的至少一个中包括迫使气体通过多孔陶瓷材料，以便分布用于使衬底漂浮的第一加压气垫和第二加压气垫中的至少一个。

5.根据权利要求2所述的方法，还包括：使用非反应性加压气体建立第一加压气垫和第二加压气垫中的至少一个。

6.根据权利要求2所述的方法，还包括：使用加压气体区域和至少部分真空区域的组合建立第一加压气垫和第二加压气垫中的至少一个。

7.根据权利要求2所述的方法，其中，将所述衬底支撑在封闭的喷墨打印系统和封闭的固化模块中的至少一个中还包括使所述衬底与支撑结构物理接触。

8.根据权利要求7所述的方法，其中，使所述衬底与支撑结构物理接触在衬底的与制造于所述衬底上的发光装置的作用区域外部的区域相对应的范围中发生。

9.根据权利要求7所述的方法，其中，使所述衬底与支撑结构物理接触包括使所述衬底与至少一个举升销物理接触。

10.根据权利要求1所述的方法，还包括：当将所述衬底支撑在封闭的固化模块中的时候，保持所述衬底的周边以限制所述衬底的侧向平移，同时使用加压气垫支撑所述衬底。

11.根据权利要求1所述的方法，还包括：在使沉积在所述衬底上的有机材料经受紫外线处理之前将所述衬底固持在封闭的固化模块中历时指定的持续时间。

12.根据权利要求1所述的方法，在将有机材料沉积在所述衬底的沉积区域上之后，还包括：

将具有有机材料沉积在其上的衬底从封闭的喷墨打印系统转移到封闭的固持模块；和

将所述衬底固持在封闭的固持模块中历时指定的持续时间；

其中，将具有有机材料沉积在其上的衬底转移到封闭的固化模块包括将具有有机材料沉积在其上的衬底从固持模块转移到封闭的固化模块。

13.根据权利要求12所述的方法，在将所述衬底转移到封闭的固持模块之后，还包括：

使用分布在衬底和第一衬底支撑设备之间的第一加压气垫将所述衬底支撑在封闭的固持模块中，以便使所述衬底漂浮在第一衬底支撑设备上；

其中，将所述衬底支撑在封闭的固化模块中包括使用分布在衬底和第二衬底支撑设备之间的第二加压气垫，以便使所述衬底漂浮在第二衬底支撑设备上。