[发明专利]一种材料表面处理装置及方法

权利要求书

1.一种材料表面处理装置，其特征在于：包括机箱、进电结构和П型阴极，通过П型阴极可以在机箱内部形成非隔离的完整等离子空间，能将待处理产品一次性完全放置上述空间内，所述П型阴极是一种由多面、非平行布置的电极板组成的空心阴极结构，上述П型阴极通过固定装置放置于机箱内，与进电结构的连接面和进电结构的轴线呈非平行设置，所述П型阴极和进电结构之夹层采用绝缘材料阻隔，所述绝缘材料与所述П型阴极尺寸配对耦合，且所述П型阴极位于所述绝缘材料内侧面上，上述材料表面处理装置的机箱内为真空腔，由位置盖板进行密封。

2.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为L型两面空心阴极，两面阴极板呈90°。

3.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为三面空心阴极，由三面阴极板相互垂直构成大致呈U型的结构。

4.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为四面空心阴极，由四块电极板相互垂直构成半封闭六面体结构。

5.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为五面空心阴极，由五块电极板相互垂直构成阴极区域。

6.如权利要求1所述一种材料表面处理装置，其特征在于：所述П型阴极为一端封闭的圆筒形空心阴极。

7.如权利要求2-6所述的任意一种材料表面处理装置，其特征在于：由多个所述П型阴极构成的组合式П型阴极结构。

8.一种材料表面处理方法，包括权利要求1-6所述的任意一种材料表面处理装置，其特征在于按下列步骤依次进行：

将待处理产品输送到送料系统上；

送料系统的上料系统的输出工位对应设置于送料系统的输出工位上方，待处理产品被放置于承重板上从下到上地运输；

待处理产品整体被以无遮挡式方式运送到机箱的底座上，然后上料系统退出；

关闭位置盖板；

抽真空；

进反应气；

接通进电结构；

待处理产品在材料表面处理装置中的由П型阴极与阳极之间形成的等离子区域内进行处理；

结束放电；

放空；

开启位置盖板；

已处理产品被放置于承重板上从上到下地运输；

将已处理处理产品输送到出料系统上。

9.如权利要求8所述的一种材料表面处理方法，其特征在于：待处理产品整体被以无遮挡式方式运送到机箱的底座上之前，事先进行摆放，摆放方式包括但不局限于堆叠、挂置；横向层层设置、纵向成排放置；人工摆放、机械手摆放。

10.如权利要求9所述的一种材料表面处理方法，其特征在于：所述构成П型阴极的电极板包含但不限于单层板/组合版；或者带有凸状物的平板，或者附有凹坑的成型板。