[发明专利]一种微波等离子体炬的屏蔽装置

权利要求书

1.一种微波等离子体炬的屏蔽装置，包括用于形成等离子体的炬管和用于屏蔽环境气体的屏蔽罩；所述炬管包括外管和中管；其特征在于，所述屏蔽罩包括屏蔽管、渐变管和密封板；

所述屏蔽管为中空管，所述屏蔽管的内径稍大于所述中管的外径，所述渐变管呈下大上小的渐缩状，所述渐变管上端与所述屏蔽管下端连接，所述渐变管下端外径与所述外管内径相等；

所述密封板呈中空状，套接于所述屏蔽管和渐变管的连接处；

所述渐变管套设于所述中管，且下端与所述外管的内壁相切，所述密封板与所述外管密封连接，所述屏蔽管与所述中管同轴。

2.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述渐变管的渐变部呈喇叭状。

3.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述渐变管上端的开口内径与所述屏蔽管的内径相等。

4.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽管、渐变管和密封板为一体式结构。

5.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽管和渐变管为一体式结构。

6.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽管侧向开设有可视窗。

7.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述渐变管侧向开设有开槽。

8.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽管的内径与所述中管的外径的半径之差为0.5mm或1mm或1.5mm或2mm。

9.如权利要求1-8任一项所述的屏蔽装置，其特征在于，所述屏蔽管、渐变管和密封板的材质均为可透射微波材质。

10.如权利要求1所述的屏蔽装置，其特征在于，所述外管沿切向方向开设有切口，所述切口用于引流氧屏蔽气，且所述氧屏蔽气于所述外管和中管之间切向螺旋流动。