[发明专利]基于MEMS工艺的220GHz接收机有效
| 申请号： | 201710370212.2 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107017902B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 冯志红;王俊龙;杨大宝;梁士雄;张立森;赵向阳;邢东;徐鹏 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H04B1/30 | 分类号： | H04B1/30;H04B1/18;H04B1/08;H03D7/16 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 王荣君 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 mems 工艺 220 ghz 接收机 | ||
1.一种基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：包括通过MEMS工艺制作的Si基镀金盒体(1)和位于所述盒体内的接收机电路，所述Si基镀金盒体(1)包括位于内侧的Si壳体(11)和位于Si壳体(11)外侧的金属镀层(12)；所述接收机电路还包括位于所述盒体外的表面平面接收天线(6)。
2.如权利要求1所述的基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：所述接收机电路包括220GHz分谐波混频电路(2)、Ka波段信号源(3)、Ka波段功率放大器(4)以及110GHz三次倍频本振电路(5)，所述Ka波段信号源(3)的信号输出端与所述Ka波段功率放大器(4)的信号输入端连接，所述Ka波段信号源(3)用于产生Ka波段的信号；所述Ka波段功率放大器(4)的信号输出端与所述110GHz三次倍频本振电路(5)的信号输入端连接，所述Ka波段功率放大器(4)用于对Ka波段信号源(3)输出的信号进行放大处理；所述110GHz三次倍频本振电路(5)的信号输出端与所述220GHz分谐波混频电路(2)的本振信号输入端连接，所述110GHz三次倍频本振电路(5)用于在Ka波段功率放大器(4)的驱动下输出分谐波混频的本振信号；所述220GHz分谐波混频电路(2)的一个输入端接收射频信号；射频信号和本振信号在所述220GHz分谐波混频电路(2)的混频作用下，将中频信号输出端至中频输出端。
3.如权利要求2所述的基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：所述接收机电路还包括位于所述盒体外的表面平面接收天线(6)，所述表面平面接收天线(6)的信号输出端与所述220GHz分谐波混频电路(2)的一个信号输入端连接，所述表面平面接收天线(6)用于汇聚空间中的射频信号。
4.如权利要求3所述的基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：所述接收天线汇聚的射频信号通过WR8波导进入所述分谐波混频电路。
5.如权利要求2所述的基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：所述220GHz分谐波混频电路(2)的中频信号输出端连接有标准的SMA接头。
6.如权利要求2所述的基于MEMS工艺的220GHz接收机，其特征在于：所述三次倍频本振电路包括4管芯反向串联倍频肖特基二极管，其中每两个管芯分为一组形成一个管芯串，每个管芯串中的两个管芯串联连接，两个管芯串之间并联连接。
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