[发明专利]一种金属掩膜条夹具以及金属掩膜制备装置

权利要求书

1.一种金属掩膜条夹具，包括夹具本体，所述夹具本体包括夹具下颚、固接于所述夹具下颚的连杆和铰接于所述连杆的夹具上颚，所述夹具上颚与所述夹具下颚形成容纳金属掩膜条的容纳空间；其特征在于，

所述夹具下颚包括夹取部和调整部，所述夹取部与所述夹具上颚相对以用于夹取金属掩膜条，所述调整部位于所述夹取部的一侧且沿靠近所述夹取部到远离所述夹取部的方向，所述调整部朝向所述夹具上颚表面距所述夹具上颚朝向所述夹具下颚的表面之间的距离逐渐增大，所述调整部设置有用于调整金属掩膜条弯曲程度的调整结构，所述调整结构能够用于接触并支撑金属掩膜条；

其中：

所述调整部上设有多个导向孔，所述调整结构包括与所述导向孔一一对应的升降构件，每一对相互对应的导向孔和升降构件中，所述升降构件安装于所述导向孔。

2.根据权利要求1所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，且所述升降构件具有第一工位和第二工位，当所述升降构件处于第一工位时，所述升降构件置于所述导向孔内部、且顶部不超出所述调整部朝向所述夹具上颚的表面，当所述升降构件处于第二工位时，所述升降构件的顶部自所述导向孔的开口处伸出并支撑金属掩膜条。

3.根据权利要求2所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，多个所述导向孔均匀设置于所述调整部。

4.根据权利要求2所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，所述调整结构还包括用于驱动所述升降构件动作的控制单元。

5.根据权利要求4所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，所述升降构件为顶针。

6.根据权利要求5所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，所述控制单元包括气动控制单元。

7.根据权利要求5所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，所述控制单元包括液动控制单元。

8.根据权利要求5所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，所述控制单元包括弹簧和用于控制所述顶针复位的复位机构。

9.根据权利要求5-8任一项所述的金属掩膜条夹具，其特征在于，每一个所述顶针的顶端设置有滚珠。

10.一种金属掩膜制备装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的金属掩膜条夹具。