[发明专利]微发光二极管显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201710370731.9 | 申请日: | 2017-05-23 |
公开(公告)号: | CN106941108B | 公开(公告)日: | 2019-09-17 |
发明(设计)人: | 卢马才 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L33/38;H01L33/00 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 发光二极管 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种微发光二极管显示面板,其特征在于,包括:衬底基板(41)、设于所述衬底基板(41)上的像素定义层(45)、形成于所述像素定义层(45)中的像素凹槽(15)、设于所述像素凹槽(15)内的树脂粘合层(13)、设于所述像素凹槽(15)内并嵌入所述树脂粘合层(13)中的微发光二极管(200)、以及分别位于像素凹槽(15)两侧的像素定义层(45)上的第一电极触点(43)和第二电极触点(44);
所述微发光二极管(200)包括:LED半导体层(2)、设于所述LED半导体层(2)上方并与所述LED半导体层(2)接触的第一电极(71)、设于所述LED半导体层(2)上方的第二电极(72)、包围所述LED半导体层(2)的绝缘保护层(14)、以及两端分别与所述LED半导体层(2)的底面和所述第二电极(72)接触的连接电极(6);所述连接电极(6)位于所述绝缘保护层(14)远离所述LED半导体层(2)的一侧;
所述连接电极(6)与所述第二电极(72)接触的部分以及所述LED半导体层(2)的上表面均暴露于所述树脂粘合层(13)外,所述第一电极(71)和第二电极(72)分别与所述第一电极触点(43)和第二电极触点(44)接触。
2.如权利要求1所述的微发光二极管显示面板,其特征在于,还包括:设于所述衬底基板(41)与像素定义层(45)之间的TFT层(42);
所述TFT层(42)包括:设于所述衬底基板(41)上的有源层(421)、覆盖所述有源层(421)与所述衬底基板(41)的栅极绝缘层(422)、设于所述有源层(421)上方的栅极绝缘层(422)上的栅极(423)、覆盖所述栅极(423)以及栅极绝缘层(422)的层间绝缘层(424)、以及设于所述层间绝缘层(424)上的与所述有源层(421)的两端接触的源极(425)和漏极(426);所述第一电极触点(43)还与所述源极(425)接触。
3.如权利要求1所述的微发光二极管显示面板,其特征在于,所述树脂粘合层(13)的材料为PMMA。
4.一种微发光二极管显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供一原始基板(1),在所述原始基板(1)上依次形成LED半导体层(2)、覆盖所述LED半导体层(2)和原始基板(1)的第一绝缘层(3)、以及设于所述第一绝缘层(3)上并与所述LED半导体层(2)和原始基板(1)接触的连接电极(6);
步骤2、提供一转运基板(8),将所述转运基板(8)表面与连接电极(6)粘合,剥离所述原始基板(1),使得所有的LED半导体层(2)、第一绝缘层(3)和连接电极(6)均转移到转运基板(8)上,暴露出所述LED半导体层(2)、第一绝缘层(3)、以及连接电极(6)与原始基板(1)接触的部分;
步骤3、在所述暴露出的LED半导体层(2)、第一绝缘层(3)、以及连接电极(6)上形成第二绝缘层(9),所述第二绝缘层(9)上形成有第一电极连接孔(11)和第二电极连接孔(12),所述第一电极连接孔(11)和第二电极连接孔(12)分别暴露出所述LED半导体层(2)的一部分和连接电极(6)的一部分,得到微发光二极管的半成品(100);
步骤4、提供一转印头(300)和一接收基板(400),所述接收基板(400)包括:衬底基板(41)、设于所述衬底基板(41)上的像素定义层(45)、形成于所述像素定义层(45)中的像素凹槽(15)、设于所述像素凹槽(15)内的树脂粘合层(13)、以及分别位于像素凹槽(15)两侧的像素定义层(45)上的第一电极触点(43)和第二电极触点(44);
步骤5、通过所述转印头(300)将转运基板(8)上的微发光二极管的半成品(100)转印到接收基板(400)上的像素凹槽(15)内,使得所述微发光二极管的半成品(100)压入并固定在所述树脂粘合层(13)中,且所述连接电极(6)被第二电极连接孔(12)暴露出的部分以及所述LED半导体层(2)的上表面均暴露于所述树脂粘合层(13)外;
步骤6、在所述微发光二极管的半成品(100)上形成第一电极(71)和第二电极(72),所述第一电极(71)与所述LED半导体层(2)和第一电极触点(43)接触,所述第二电极(72)与所述连接电极(6)和第二电极触点(44)接触。
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