[发明专利]进气装置和包括该进气装置的腔室

权利要求书

1.一种进气装置，其特征在于，所述进气装置包括：

喷嘴，所述喷嘴为中空柱状，所述喷嘴的第一端的外周壁上设有凸出的第一轴肩，第二端的外周壁上设有凸出的第二轴肩；

固定件，所述固定件为中空结构，在内壁上设有台阶，当所述喷嘴套置于所述固定件内时，所述台阶的台阶面与所述第一轴肩的端面相接合，所述固定件用于将所述进气装置固定至待安装件；

第一密封圈，所述第一密封圈用于设置于所述第二轴肩的端面与所述待安装件之间；

观察窗，所述观察窗设置于所述喷嘴的第一端的端面上；

第二密封圈，所述第二密封圈设置在所述喷嘴的第一端的端面上的密封槽内；

固定件的内壁还设有水平面，其与观察窗的上表面相接合，从而通过水平面、观察窗、密封槽和第二密封圈可以实现喷嘴第一端的密封。

2.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述固定件包括第一固定件和第二固定件，其中，

所述第一固定件套设于所述喷嘴的第一端；

所述第二固定件套设于所述喷嘴的第二端并与所述第一固定件接合，所述第二固定件用于将所述进气装置固定至所述待安装件。

3.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述第一轴肩上设有凸出的限位部，所述固定件的内壁上设有与所述限位部配合的凹陷部；

当所述喷嘴套置于所述固定件内时，所述限位部卡合于所述凹陷部中。

4.根据权利要求3所述的进气装置，其特征在于，所述限位部为长方体，所述凹陷部为与所述长方体配合的凹槽。

5.根据权利要求4所述的进气装置，其特征在于，所述长方体的长为8mm-25mm，宽为2mm-8mm。

6.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，所述喷嘴的第一端的端面水平设置。

7.根据权利要求1所述的进气装置，其特征在于，还包括：

进气部，所述进气部设置在所述喷嘴的外周壁上，所述进气部与所述喷嘴的外周壁之间的安装面上设有第三密封圈。

8.一种腔室，其特征在于，所述腔室包括权利要求1-7中任一项所述的进气装置。