[发明专利]一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置及其方法

权利要求书

1.一种新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置，其特征在于，包括大理石平台[1]和设置在大理石平台[1]上的螺母夹持装置[2]、X轴直线运动平台[17]、双频激光发生器[4]、第一激光干涉仪[5-1]，与第一激光干涉仪[5-1]配套的第一准直镜[6-1]和第一光电探测器[7-1]、第二激光干涉仪[5-2]，与第二激光干涉仪[5-2]配套的第二准直镜[6-2]和第二光电探测器[7-2]、第三激光干涉仪[5-3]，与第三激光干涉仪[5-3]配套的第三准直镜[6-3]和第三光电探测器[7-3]、第一光线分束器[8-1]、第二光线分束器[8-2]、第一光线直角反射镜[9-1]、第二光线直角反射镜[9-2]、第三光线直角反射镜[9-3]和第四光线直角反射镜[9-4]；

所述X轴直线运动平台[17]位于双频激光发生器[4]和螺母夹持装置[2]之间，X轴直线运动平台[17]和双频激光发生器[4]之间设置第一激光干涉仪[5-1]、第二激光干涉仪[5-2]、第一光线分束器[8-1]、第二光线分束器[8-2]、第一光线直角反射镜[9-1]、第二光线直角反射镜[9-2]，其中第一光线直角反射镜[9-1]和第二光线分束器[8-2]靠近双频激光发生器[4]，第一激光干涉仪[5-1]和第二激光干涉仪[5-2]靠近X轴直线运动平台[17]，第一光线分束器[8-1]和第二光线直角反射镜[9-2]位于第二激光干涉仪[5-2]和第二光线分束器[8-2]之间；

其中第一光线直角反射镜[9-1]和第二光线分束器[8-2]所在直线与第二光线直角反射镜[9-2]和第一光线分束器[8-1]所在直线平行，同时，第一光线直角反射镜[9-1]和第二光线分束器[8-2]所在直线与第一激光干涉仪[5-1]和第二激光干涉仪[5-2]所在直线平行，螺母夹持装置[2]的另一侧设置第三光线直角反射镜[9-3]和第四光线直角反射镜[9-4]，螺母夹持装置[2]与第四光线直角反射镜[9-4]之间设置第三激光干涉仪[5-3]，第三光线直角反射镜[9-3]和第四光线直角反射镜[9-4]所在直线与第一光线直角反射镜[9-1]和第二光线分束器[8-2]所在直线平行，螺母夹持装置[2]上设置待测件[19]；X轴直线运动平台[17]上设置测量杆[3]，测量杆[3]所在直线与第一光线直角反射镜[9-1]和第二光线分束器[8-2]所在直线垂直，所述测量杆[3]内安装有位于同一轴线的第一探头[20]和第二探头[21]，所述第一探头[20]内部装有第一光线缩束器[22]和第一反射镜[23]，第二探头[21]内部装有第二光线缩束器[25]和第二反射镜[24]，所述两个探头结构完全相同；

其中第一准直镜[6-1]位于第一激光干涉仪[5-1]的入射镜面一侧且与之贴合，第一光电探测器[7-1]位于第一激光干涉仪[5-1]的正下方，用于接收返回的激光光线；第二准直镜[6-2]位于第二激光干涉仪[5-2]的入射镜面一侧且与之贴合，第二光电探测器[7-2]位于第二激光干涉仪[5-2]的正下方，用于接收返回的激光光线；第三准直镜[6-3]位于第三激光干涉仪[5-3]的入射镜面一侧且与之贴合，第三光电探测器[7-3]位于第三激光干涉仪[5-3]的正下方，用于接收返回的激光光线。

2.根据权利要求1所述的新型滚珠丝杠螺母内滚道型面检测装置，其特征在于，所述待测件[19]为滚珠丝杠螺母。