[发明专利]一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统

说明书

技术领域

本发明涉及晶体元器件制造检测技术领域，特别是涉及一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统。

背景技术

石英晶体振荡器是利用石英晶体谐振器作为核心元件构成的振荡器，与LC谐振回路相比，其具有更高的品质因数因此频率稳定度非常高，由于晶体谐振器是整个晶体振荡器中最核心的部件，所以生产过程中晶体谐振器的质量直接影响到最终产品晶体振荡器的性能，因此，在生产过程中对晶体元器件尤其是石英晶片的质量监控要求非常高，从裸片到最后的晶体谐振器元件，整个生产过程中涉及到很多的工序，每一道工序都有可能造成一些加工缺陷，从而导致成品指标不达标，所以每一道工序之后都需要对晶片进行自检，剔除缺陷产品，这些检查过程都是通过人工完成的。随着半导体行业的发展，元器件的尺寸越来越小，晶体谐振器也在朝着小型化方向发展。

由于晶片非常小，人工检查变得越来越吃力，比如，晶片外观缺陷检查和上架后胶点质量检查，都需要人工一只一只的查看，这样产品量比较大时人很容易产生视觉疲劳，从而工作效率降低，工作质量也无法保证；此外，在借助显微镜对元器件检查时，由于其成像方式限制，它只适合检测平面质量，根本不能够对有立体结构的元器件进行整体检查，这样很容易漏掉元器件的某个细节缺陷，不能够有效的剔除缺陷产品。

发明内容

本发明要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统，能够实现对微小元件进行3D成像，并且进行放大缩小变换，同时还能以3D显示的方式把立体图像展示出来，大大简化检查工作提升检测能力，为生产高品质小型化晶体元器件提供了有力的保障。

本发明所采取的技术方案是：一种立体显示装置，包括：显示单元、投影镜组、视窗镜、第二驱动模块和控制模块，显示单元放置于投影镜组的上侧，控制模块连接着第二驱动模块，第二驱动模块连接着显示单元，用于调整显示单元与投影镜组的等效距离，视窗镜放置于投影镜组的下侧，且视窗镜与水平方向呈一定角度设置。

作为进一步的技术方案，所述摄影镜组单元包括一个凸透镜。

作为进一步的技术方案，所述显示单元包括LCD投影芯片、DMD投影芯片和空间光调制器。

作为进一步的技术方案，所述显示单元包括LCOS投影芯片和显示屏。

作为进一步的技术方案，所述视窗镜为透光率可调的半透半反射镜。

作为进一步的技术方案，所述视窗镜为表面粘贴有透明液晶屏的半透半反射镜。

一种立体显示装置应用在用于晶片检测的3D图像再现系统，包括：立体拍摄结构、立体显示结构和控制模块，立体拍摄结构包括图像变换模块和图像拍摄模块，图像拍摄模块包括摄影镜组单元和感光芯片单元，图像变换模块、摄影镜组单元和感光芯片单元按照从左到右的顺序依次设置，感光芯片单元连接着第一驱动模块，第一驱动模块连接着立体显示装置中的控制模块。

作为进一步的技术方案，所述图像变换模块为一物镜组；所述摄影镜组单元包括一个凸透镜。

作为进一步的技术方案，所述感光芯片单元包括CCD芯片。

作为进一步的技术方案，所述感光芯片单元包括CMOS芯片。

作为进一步的技术方案，所述第一驱动模块连接着第一直线马达，摄影镜组单元和感光芯片单元设置在第一直线马达上；第二驱动模块连接着第二直线马达，显示单元和投影镜组设置在第二直线马达上。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本发明通过提供一种立体显示装置和用于晶片检测的3D图像再现系统，能够实现对微小元件进行3D成像，并且进行放大缩小变换，同时还能以3D显示的方式把立体图像展示出来，大大简化检查工作提升检测能力，为生产高品质小型化晶体元器件提供了有力的保障。

附图说明

图1是本发明立体显示装置的模块示意图；

图2是本发明的模块示意图；

图3是本发明的立体拍摄结构示意图；

图4是本发明的立体显示结构示意图；

图5是本发明的透镜成像原理示意图；

图6是本发明立体显示结构的成像原理示意图；

图7是本发明另一个实施例的立体显示结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。