[发明专利]一种大宽厚比B掺杂SiC纳米带及其制备方法有效
申请号: | 201710381750.1 | 申请日: | 2017-05-26 |
公开(公告)号: | CN107265460B | 公开(公告)日: | 2020-02-18 |
发明(设计)人: | 高凤梅;李笑笑;陈善亮;王霖;杨为佑 | 申请(专利权)人: | 宁波工程学院 |
主分类号: | C01B32/977 | 分类号: | C01B32/977;B82Y40/00 |
代理公司: | 宁波市鄞州盛飞专利代理事务所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人: | 洪珊珊 |
地址: | 315016 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 宽厚 掺杂 sic 纳米 及其 制备 方法 | ||
1.一种大宽厚比B掺杂SiC纳米带,包括,其特征在于,所述B掺杂SiC纳米带的宽度为1~4μm,厚度为80~90nm,B的掺杂量为6.5~7.5at.%,且所述B掺杂SiC纳米带为单晶结构,相成份为3C-SiC,沿[]方向生长,具有(111)表面;
所述大宽厚比B掺杂SiC纳米带的制备方法,包括如下步骤:将有机前驱体进行预处理后,与B2O3粉末混匀,将混匀后的物料与碳纸衬底一起置于气氛烧结炉中,先经程序升温再经程序降温,即制得B掺杂SiC纳米带,
所述程序升温的过程为,先以28~32℃/min的速率从室温升至1370~1430℃,再以23~27℃/min的速率升温至1470~1530℃,
所述程序降温的过程为,先以17~23℃/min的速率降温至1070~1130℃,再随炉冷却至室温。
2.根据权利要求1所述的B掺杂SiC纳米带,其特征在于,所述有机前驱体为含有Si和C的有机前驱体。
3.根据权利要求1所述的B掺杂SiC纳米带,其特征在于,所述预处理包括热交联固化和球磨粉碎。
4.根据权利要求1所述的B掺杂SiC纳米带,其特征在于,所述有机前驱体与B2O3粉末的质量比为(4~6):1。
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