[发明专利]光调制器

说明书

技术领域

本发明涉及光调制器，尤其是涉及对应于存在多个调制部而具有多个受光元件的光调制器。

背景技术

在光通信系统的高速化、大容量化发展之中，其使用的光调制器的高性能化、高密度化不断发展。而且，伴随着光调制器的小型化的要求，构成光调制器的基板的小型化也不断发展。然而，光调制器的高性能化与高密度化及小型化为相反的要求，因此要求对于兼顾这些来想办法。

关于这样的光调制器，提出了以下那样的发明。

例如，专利文献1公开了如下的构造的光调制器：对于从光波导射出并入射到反射槽内的光，通过反射槽的底面的反射膜使其反射而使其朝向上方，由此由固定于基板的表面的受光元件接受在光波导之中行进的光。

例如，在专利文献2中公开了如下的构造的光调制器：将受光元件以跨构成马赫-曾德尔型波导的输出波导的方式配置，接受从马赫-曾德尔型波导的合波部放射的2个放射光，在一个受光元件基板上分离地形成2个以上的受光部。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本特开2015-18193号公报

【专利文献2】日本特开2015-194517号公报

发明内容

【发明的概要】

【发明要解决的课题】

图1是说明现有例1的光调制器的俯视图。

现有例1的光调制器具有分别对使输入光分支后的各光波进行调制的第一调制部M(#1)及第二调制部M(#2)。各调制部M使用光波导2和控制电极3而构成，该光波导2形成在具有电光效应的基板1上，该控制电极3用于根据控制信号来控制在光波导2中传播的光波。控制电极3由被施加作为控制信号的一种的RF信号(调制信号)的RF电极3a、被施加作为控制信号的一种的DC信号(偏压)的DC电极3b、3c等构成。

构成调制部M的光波导2成为在主马赫-曾德尔型波导的支路部上嵌套式地配置副马赫-曾德尔型波导的构造。由调制部M调制后的光波(信号光)通过与该调制部M的主马赫-曾德尔型波导的合波部相连的输出用波导21而被向基板外部引导。

在各调制部M的输出用波导21的两侧设置对从该调制部M的主马赫-曾德尔型波导的合波部放射的放射光进行传播的放射光用波导22。并且，以跨输出用波导21及其两侧的放射光用波导22的方式配置受光元件4。在本例中，作为受光元件4，设有针对调制部M(#1)的受光元件4(#1)和针对调制部M(#2)的受光元件4(#2)。各受光元件4具有用于从各个放射光用波导22接受光波的受光部41，通过粘结剂42而粘结并固定在基板1上的预先确定的位置。

在现有例1的光调制器中，关于各调制部M，将基板1的长度方向(光传播方向)的位置对齐而沿着基板1的宽度方向并列配置。而且，关于各受光元件4也同样，将基板1的长度方向的位置对齐而沿着基板1的宽度方向并列配置。作为受光元件4，使用1条边的长度为0.2mm～0.5mm左右且受光部42的直径为30μm～150μm左右的结构。为了提高受光元件4相对于基板1的粘结作业的作业性、粘结的可靠性，需要使相邻的受光元件4(#1)、4(#2)间的间隔(D11)分离一定程度(0.1mm～0.2mm左右)。伴随于此，需要分离光调制区域M(#1)侧的光波导2与光调制区域M(#2)侧的光波导2的间隔(D12)，成为基板1的宽度方向的长度(芯片宽度W)增大的要因。

图2是说明现有例2的光调制器的俯视图。

现有例2的光调制器具有：分别对使波长λ1的输入光分支后的各光波进行调制的第一调制部M(#1)及第二调制部M(#2)；分别对使波长λ2的输入光分支后的各光波进行调制的第三调制部M(#3)及第四调制部M(#4)。各调制部M使用光波导2和控制电极3(RF电极3a、DC电极3b、3c等)而构成，该光波导2形成在具有电光效应的基板1上，该控制电极3用于根据控制信号来控制在光波导2中传播的光波。

构成调制部M的光波导2成为在主马赫-曾德尔型波导的支路部上嵌套式地配置副马赫-曾德尔型波导的构造。由调制部M调制后的光波(信号光)通过与该调制部M的主马赫-曾德尔型波导的合波部相连的输出用波导21而被向基板外部引导。