[发明专利]退火处理装置以及退火处理方法

权利要求书

1.一种退火处理装置，为晶系太阳能电池用的退火处理装置，包括：加热室，具有用于对杂质掺杂的基板进行热处理的内部空间；以及前室，被配置为经由闸式阀与所述加热室的内部空间连通，

所述加热室具备：盒基座，放置盒支架，所述盒支架为在所述加热室的内部空间中，使多个以所述基板的表面和背面暴露的状态来保持所述基板的外周部的盒，在以规定的距离分隔开的状态下，多段重叠而成；以及气体供给单元，用于热处理，

所述气体供给单元具有气体供给口，所述气体供给口朝向所述基板之间分隔开的空间且针对每个该空间为一个以上。

2.根据权利要求1所述的退火处理装置，

所述气体供给单元的气体供给口的开口部的形状为椭圆形形状或狭缝状，所述椭圆形形状在与所述基板的表面和背面平行的方向上具有长轴。

3.根据权利要求1或2所述的退火处理装置，

所述气体供给单元具备一个以上的对气体流量进行调整的单元。

4.一种退火处理方法，为晶系太阳能电池用的退火处理方法，为了在基板的表面和背面两个面或任意一个面形成杂质区域，在包含退火气体的气氛下对所述基板进行热处理，

在进行所述热处理的空间内，通过盒以所述基板的表面和背面暴露的状态来保持所述基板的外周部，并且将多个所述盒配置为以规定的距离分隔开的状态，

一边从具有气体供给口的气体供给源导入包含杂质元素的气体一边进行热处理，所述气体供给口朝向所述基板之间分隔开的空间且针对每个该空间为一个以上。

5.根据权利要求4所述的退火处理方法，

所述气体供给口在所述基板之间分隔开的空间中，使所述退火气体以雷诺数成为3000以下的方式流过。