[发明专利]流量控制装置和存储有流量控制装置用程序的存储介质

权利要求书

1.一种流量控制装置，对流体控制阀进行反馈控制，使测量流量接近目标流量，

所述流量控制装置的特征在于具有：

阀控制部，基于所述目标流量、所述测量流量和设定的反馈控制系数，对所述流体控制阀进行反馈控制，

响应延迟输入部，用于输入响应延迟设定值，所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值；以及

响应延迟生成部，根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟，

所述响应延迟生成部根据所述响应延迟设定值来调整所述反馈控制系数，

所述响应延迟生成部基于测量响应延迟和此时设定的反馈控制系数，计算成为所述响应延迟设定值所示的设定响应延迟的新反馈控制系数，并且将当前的反馈控制系数置换为所述新反馈控制系数。

2.根据权利要求1所述的流量控制装置，其特征在于，所述响应延迟设定值是表示去掉无效时间的一次延迟、二次延迟或其以上的多次延迟的值。

3.根据权利要求2所述的流量控制装置，其特征在于，表示所述一次延迟、二次延迟或其以上的多次延迟的值是时间常数。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的流量控制装置，其特征在于，

所述流量控制装置还具有测量反馈控制的响应延迟的响应延迟测量部。

5.根据权利要求1-3中任意一项所述的流量控制装置，其特征在于，所述反馈控制至少包括比例控制，并且通过利用内模控制器使去掉无效时间的响应延迟成为一次延迟。

6.一种存储有流量控制装置用程序的存储介质，所述流量控制装置用程序对流体控制阀进行反馈控制，使测量流量接近目标流量，

存储有流量控制装置用程序的存储介质的特征在于，

所述流量控制装置用程序使所述流量控制装置作为阀控制部、响应延迟输入部和响应延迟生成部发挥功能，所述阀控制部基于所述目标流量、所述测量流量和设定的反馈控制系数，对所述流体控制阀进行反馈控制，所述响应延迟输入部用于输入响应延迟设定值，所述响应延迟设定值是表示想要设定的响应延迟的值，所述响应延迟生成部根据所述响应延迟设定值生成所述反馈控制的响应延迟，所述响应延迟生成部根据所述响应延迟设定值来调整所述反馈控制系数，

所述响应延迟生成部基于测量响应延迟和此时设定的反馈控制系数，计算成为所述响应延迟设定值所示的设定响应延迟的新反馈控制系数，并且将当前的反馈控制系数置换为所述新反馈控制系数。