[发明专利]一种用于芯片除尘的装置

权利要求书

1.一种用于芯片除尘的装置，包括箱体（1），所述箱体（1）的前侧敞口（1.1）并在敞口（1.1）处设置箱门；其特征在于：还包括：

气泵；

盘式喷头，设置于所述箱体（1）内；

电机（4），设置于所述箱体（1）内；

转盘（3），由所述电机（4）驱动可转动地设置于所述箱体（1）内；

集尘室（5），设置在所述箱体（1）两侧的外部；

风机，设置于所述集尘室（5）中；

下夹条（12），设置于所述转盘（3）上；

上夹条（13），可调节地设置于所述下夹条（12）的上方；

螺栓（14），具有固定所述下夹条（12）的螺纹段和滑动连接所述上夹条（13）的非螺纹段；

夹紧弹簧（15），一端连接至所述上夹条（13），另一端连接至所述螺栓（14）从而将芯片夹在所述上夹条（13）和所述下夹条（12）之间；

所述盘式喷头与所述气泵连接并且位于所述转盘（3）的上方面朝所述转盘（3）设置；所述箱体（1）与所述集尘室（5）连通，所述集尘室（5）具有一出气管（6）。

2.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述盘式喷头具有一个喷头本体（2）和连接所述喷头本体（2）和气泵的高压气管（8）；所述喷头本体（2）为正方形或圆形的结构体，其内部具有用于气体分流的分流腔（2.1），所述分流腔（2.1）连通所述高压气管（8）；所述喷头本体（2）的下表面具有若干用于使气流从所述分流腔（2.1）中喷出的气孔（2.2）。

3.根据权利要求2所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述上夹条（13）和所述下夹条（12）的夹持面上均设置有若干等距排列、用于夹持芯片的卡槽。

4.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：

气缸（11），设置于所述转盘（3）上；

所述气缸（11）的推杆连接所述电机（4）从而驱动所述电机（4）和转盘（3）升降。

5.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：

防逆流挡片（7），转动设置在所述集尘室（5）与所述箱体（1）的连通处；

所述防逆流挡片（7）能够在所述风机的吸力作用下开启，也能够在自身重力作用下关闭。

6.根据权利要求5所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：

限位块（9），设置在所述集尘室（5）内；

所述防逆流挡片（7）开启角度达到30～45°时碰触所述限位块（9）。

7.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流片（10）。

8.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述集尘室（5）中设置有用于将气流引导至所述出气管（6）的导流网。

9.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：所述出气管（6）处设置过滤网。

10.根据权利要求1所述的一种用于芯片除尘的装置，其特征在于：还包括：

灰尘传感器，设置在所述箱体（1）内用于检测其内部的灰尘浓度。