[发明专利]一维闭环微纳米振动台

权利要求书

1.一种一维闭环微纳米振动台，其特征是包括：

以铍铜簧片(3)作为弹性部件，铍铜簧片(3)的中央为圆形空腔，所述铍铜簧片(3)利用呈十字分布的簧片螺钉固定在底座(6)的上表面；工作台面(1)置于所述铍铜簧片(3)的上表面，并利用呈十字分布的台面螺钉固定在铍铜簧片(3)上，构成弹性结构，使所述工作台面(1)在水平面上获得限位，并能在竖直方向形成振动位移；

所述底座(6)为底面封闭、顶面敞口的圆柱筒体，在圆柱筒体的底板上嵌装压电陶瓷致动器(4)；在工作台面(1)的底面固定设置转接板(2)，所述转接板(2)位于铍铜簧片(3)的中央圆形空腔内，转接板(2)与压电陶瓷致动器(4)的位移输出头(4a)呈T形连接，由压电陶瓷致动器(4)通过转接板(2)驱动工作台面(1)竖向运动；

在所述底座(6)的圆柱筒体内安装迈克尔逊干涉仪(5)，利用迈克尔逊干涉仪(5)实时检测转接板(2)的运动状态作为检测信号，信号处理及控制系统根据检测信号对压电陶瓷致动器(4)输出控制信号，实现振动台的闭环控制。

2.根据权利要求1所述的一维闭环微纳米振动台，其特征是：所述压电陶瓷致动器(4)在底座(6)中的安装结构为：在底座(6)的底板中央设置台阶孔，压电陶瓷致动器(4)相吻合地嵌装在台阶孔中，使压电陶瓷致动器(4)的外圆周面在台阶孔中得到支撑，限制压电陶瓷致动器(4)的水平位移。

3.根据权利要求2所述的一维闭环微纳米振动台，其特征是：所述压电陶瓷致动器(4)是由位移输出头(4a)、锁紧压板(4b)、压缩弹簧(4c)、堆叠压电陶瓷(4d)、外壳体(4e)，以及封装压电陶瓷致动器底座(4f)组成；通过锁紧压板(4b)和压缩弹簧(4c)的共同作用，向堆叠压电陶瓷(4d)施加预紧力，使堆叠压电陶瓷(4d)产生初始形变。

4.根据权利要求2所述的一维闭环微纳米振动台，其特征是：在所述底座(6)的外圆周面上设置呈十字分布设置固定孔，利用所述固定孔将底座(6)固定在光学平台上，以保持底座(6)的稳定性；在底座(6)的侧壁上设置线缆孔，利用所述线缆孔引出压电陶瓷致动器和迈克尔逊干涉仪的线缆。